[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201820099223.1
• 申請日: 2018-01-22
• 公開（公告）號: CN208245285U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 呂海強;鄭安;黃楊康
• 申請（專利權）人: 浙江金樂太陽能科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;F26B21/00;H01L21/67
• 代理公司: 寧波慈恒專利代理事務所(特殊普通合伙) 33249
• 代理人: 戚秋鵬

1.一種硅片清洗裝置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)為矩形空腔結構，所述底座(1)的底端內壁的中間位置安裝有驅動電機(2)，所述驅動電機(2)的輸出軸末端貫穿底座(1)的頂端側壁且連接有轉軸(3)，所述轉軸(3)遠離驅動電機(2)的一端連接有放置板(4)，所述底座(1)的頂端側壁設置有集水板(5)，所述底座(1)的頂端側壁設置有環形軌道(6)，所述環形軌道(6)內活動安裝有兩個移動裝置(7)，兩個移動裝置(7)位于環形軌道(6)的兩側，所述移動裝置(7)上連接有支撐桿(8)，兩根支撐桿(8)遠離移動裝置(7)的一端連接有放置板(4)，所述放置板(4)的上表面圓周陣列設置有放置槽(16)，所述底座(1)上表面兩側對稱安裝有固定桿(9)，兩根固定桿(9)之間固定有固定板(10)，所述固定板(10)上表面兩側對稱設置有水箱(11)，所述水箱(11)上設置有清洗裝置(12)，所述固定板(10)的上表面中間位置安裝有風機(13)，所述固定板(10)下表面的中間位置固定有安裝架(14)，所述安裝架(14)上安裝有電熱條(15)。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述集水板(5)為環形結構，且集水板(5)位于環形軌道(6)的內部，集水板(5)沿圓周方向設置有凹槽。

3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述移動裝置(7)上有移動輪和安裝板，移動輪通過軸承安裝在安裝板上，且移動輪活動安裝在環形軌道(6)上，安裝板連接有支撐桿(8)。

4.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述放置槽(16)位于集水板(5)的正上方，且放置槽的底端側壁上均勻設置有通水孔。

5.根據權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置(12)包括水管和噴嘴，水管的一端連接有水箱，另一端連接有噴嘴，噴嘴沿水管長度方向等距離設置，水管上設置有水泵。