[實用新型]用于光學(xué)元件性能檢測的試驗臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820097487.3
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN207894592U
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊威;齊月靜;王宇;盧增雄;李兵
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號: G01M11/04
• 分類號: G01M11/04
• 代理公司: 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

本實用新型屬于光學(xué)元件性能檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于光學(xué)元件性能檢測的試驗臺。該試驗臺包括基座和工件臺，所述基座用于支撐所述工件臺并能夠帶動所述工件臺共同移動，所述工件臺上設(shè)有橫向調(diào)節(jié)單元，所述基座包括支撐板，所述支撐板的下方設(shè)有可移動單元，所述可移動單元和所述支撐板之間設(shè)有高度調(diào)節(jié)單元，所述支撐板的上方的兩個對稱面上設(shè)有縱向調(diào)節(jié)單元，所述試驗臺的左、右兩側(cè)機架上均設(shè)有縱向限位單元。通過使用本實用新型所述的用于光學(xué)元件性能檢測的試驗臺，能夠為工件臺提供一個可調(diào)節(jié)的安裝基準面，同時裝置本身具有能夠?qū)崿F(xiàn)平移運動，在工件臺搬運過程中無需借助外部工具，簡化了搬運過程。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于光學(xué)元件性能檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于光學(xué)元件性能檢測的試驗臺。

背景技術(shù)

在光學(xué)性能參數(shù)的檢測、光源性能參數(shù)檢測及光刻等領(lǐng)域，要得到高質(zhì)量的成像，檢測系統(tǒng)必須具備精確調(diào)平調(diào)焦和對準功能，因此都需要用到工件臺來實現(xiàn)對準和調(diào)焦功能，并且要求工件臺六自由可調(diào)和超高的位置控制精度。目前高精度的工件臺的長行程采用直線電機驅(qū)動控制、短行程采用微位移驅(qū)動器控制這樣一種由粗到精的控制策略實現(xiàn)的。為了保證工件臺位置控制的高精度，通常會引入六維激光干涉儀檢測系統(tǒng)，用于檢測和反饋工件的位置信息，消除和減小由于機械膨脹、振動等因素帶來的誤差。由于工件臺的控制精度要求極高，所以其自身結(jié)構(gòu)、支撐結(jié)構(gòu)、安裝基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)都必須滿足：高剛性、高穩(wěn)定性以及輕量化，有利于高精度和高響應(yīng)的運動控制。

為了達到高剛性、高穩(wěn)定性，工件臺的支撐子系統(tǒng)大多采用低膨脹率材料，對于成熟的光刻設(shè)備，工件臺的模塊化成度非常高。為了搬運和安裝方便，在底部會設(shè)計氣墊支撐，在結(jié)構(gòu)的側(cè)面會設(shè)計電動的定位與鎖死機構(gòu)。這樣會使整個系統(tǒng)過于復(fù)雜化，雖然精度高，裝調(diào)自動化程度高，功能全，但系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、產(chǎn)品體積大、質(zhì)量重且價格昂貴。此類設(shè)備均為專門訂制設(shè)備，通常是針對光刻設(shè)備供應(yīng)。對于一些檢測實驗、不追求產(chǎn)率、較少自由度需求的應(yīng)用場合并不適合。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決上述存在的至少一個問題，該目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。

本實用新型提出了一種用于光學(xué)元件性能檢測的試驗臺，其中包括基座和工件臺，所述基座用于支撐所述工件臺并能夠帶動所述工件臺共同移動，所述工件臺的兩個相反的側(cè)面上設(shè)有橫向調(diào)節(jié)單元，所述基座包括支撐板，所述支撐板的下方設(shè)有可移動單元，所述可移動單元和所述支撐板之間設(shè)有高度調(diào)節(jié)單元，所述支撐板的上方設(shè)有縱向調(diào)節(jié)單元，所述試驗臺的左、右兩側(cè)機架上均設(shè)有縱向限位單元，當(dāng)所述基座和所述工件臺移動到所述試驗臺的左、右兩側(cè)機架之間時，所述支撐板能夠與所述縱向限位單元相貼合，通過調(diào)節(jié)所述高度調(diào)節(jié)單元來降低所述支撐板的高度，能夠使所述支撐板貼靠在所述試驗臺的左、右兩側(cè)機架之間的高度限位單元上，通過調(diào)節(jié)所述縱向調(diào)節(jié)單元能夠調(diào)節(jié)所述工件臺在水平面內(nèi)的縱向位置，通過調(diào)節(jié)所述橫向調(diào)節(jié)單元能夠調(diào)節(jié)所述工件臺在水平面內(nèi)的橫向位置。

進一步地，所述可移動單元為滾輪。

進一步地，所述高度調(diào)節(jié)單元包括滾輪支架、高度調(diào)節(jié)螺母和鎖緊螺母，所述滾輪通過所述滾輪支架連接于所述支撐板的下方，所述高度調(diào)節(jié)螺母設(shè)于所述滾輪支架的下方，用于調(diào)節(jié)所述滾輪支架的高度，所述鎖緊螺母設(shè)于所述滾輪支架的上方，用于鎖緊所述滾輪支架并固定所述滾輪支架的高度。

進一步地，所述縱向調(diào)節(jié)單元包括縱向固定板和縱向調(diào)節(jié)螺釘，所述縱向固定板為L型固定板，所述縱向固定板的一個板面垂直于所述支撐板的上表面，所述縱向固定板的另一個板面與所述支撐板的上表面相貼合并通過螺栓連接固定于所述支撐板的上表面，所述縱向調(diào)節(jié)螺釘設(shè)于所述縱向固定板的所述一個板面上，通過調(diào)節(jié)所述縱向調(diào)節(jié)螺釘能夠調(diào)節(jié)所述工件臺在水平面內(nèi)的縱向位置。