[實(shí)用新型]一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820095772.1
• 申請(qǐng)日: 2018-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN207749149U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島精誠華旗微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C21D9/00
• 分類號(hào): C21D9/00;C21D1/773
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置，包括與包括與擴(kuò)散泵相對(duì)應(yīng)的加熱控溫裝置，加熱控溫裝置包括功率調(diào)節(jié)器、溫度傳感器、加熱元件、控溫儀表；所述加熱元件與溫度傳感器安裝在擴(kuò)散泵上。本實(shí)用新型的目的在于提供了一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置，設(shè)計(jì)合理，增加了溫度傳感器、功率調(diào)節(jié)器、控溫儀表，能夠根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整加熱元件的加熱功率，節(jié)省電能，降低成本，同時(shí)又避免加熱溫度過高，導(dǎo)致擴(kuò)散泵油溫過高揮發(fā)到真空管道中，實(shí)用性強(qiáng)，適于推廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空熱處理爐領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置。

背景技術(shù)

真空熱處理爐設(shè)備上設(shè)置有真空機(jī)組，其中油擴(kuò)散泵用于抽高真空，而擴(kuò)散泵需要泵油達(dá)到一定溫度方能工作。常規(guī)操作僅對(duì)擴(kuò)散泵油加熱而不進(jìn)行溫度控制，一直滿功率負(fù)荷加熱，消耗大量電能，且加熱絲使用壽命短，設(shè)備能耗高，成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供了一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置，設(shè)計(jì)合理，增加了溫度傳感器、功率調(diào)節(jié)器、控溫儀表，能夠根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整加熱元件的加熱功率，節(jié)省電能，降低成本，同時(shí)又避免加熱溫度過高，導(dǎo)致擴(kuò)散泵油溫過高揮發(fā)到真空管道中，實(shí)用性強(qiáng)，適于推廣。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：

一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置，與擴(kuò)散泵相對(duì)應(yīng)，其特征在于：包括與擴(kuò)散泵相對(duì)應(yīng)的加熱控溫裝置，加熱控溫裝置包括功率調(diào)節(jié)器、溫度傳感器、加熱元件、控溫儀表；所述加熱元件與溫度傳感器安裝在擴(kuò)散泵上。

作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述加熱元件安裝在擴(kuò)散泵下部，設(shè)置有加熱爐絲與耐火保溫材料，通過電源線與功率調(diào)節(jié)器連接。

作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述功率調(diào)節(jié)器包括晶閘管模塊、熔斷器、散熱片，通過信號(hào)線與控溫儀表連接。

作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述擴(kuò)散泵底部安裝有盲管，位于擴(kuò)散泵油液面附近；所述溫度傳感器安裝于盲管內(nèi)，通過信號(hào)線將測(cè)量溫度實(shí)時(shí)反饋到控溫儀表。

作為一種優(yōu)化的技術(shù)方案，所述控溫儀表根據(jù)溫度傳感器反饋的溫度測(cè)量值與設(shè)定值相比較，控制功率調(diào)節(jié)器輸出功率。

由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，設(shè)計(jì)合理，增加了溫度傳感器、功率調(diào)節(jié)器、控溫儀表，能夠根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整加熱元件的加熱功率，節(jié)省電能，降低成本，同時(shí)又避免加熱溫度過高，導(dǎo)致擴(kuò)散泵油溫過高揮發(fā)到真空管道中，實(shí)用性強(qiáng)，適于推廣。

參照附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例

如圖1所示，一種真空熱處理設(shè)備上的擴(kuò)散泵加熱控溫裝置，與擴(kuò)散泵5相對(duì)應(yīng)，包括與擴(kuò)散泵5相對(duì)應(yīng)的加熱控溫裝置，加熱控溫裝置包括功率調(diào)節(jié)器4、溫度傳感器2、加熱元件1、控溫儀表3；所述加熱元件1與溫度傳感器2安裝在擴(kuò)散泵上。

所述加熱元件1安裝在擴(kuò)散泵5下部，設(shè)置有加熱爐絲與耐火保溫材料，通過電源線與功率調(diào)節(jié)器4連接。

所述功率調(diào)節(jié)器4包括晶閘管模塊、熔斷器、散熱片，通過信號(hào)線與控溫儀3表連接。

所述擴(kuò)散泵5底部安裝有盲管，位于擴(kuò)散泵油液面附近；所述溫度傳感器2安裝于盲管內(nèi)，通過信號(hào)線將測(cè)量溫度實(shí)時(shí)反饋到控溫儀表3。

所述控溫儀表3根據(jù)溫度傳感器2反饋的溫度測(cè)量值與設(shè)定值相比較，控制功率調(diào)節(jié)器輸出功率。