[實用新型]一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置有效
| 申請號： | 201820095772.1 | 申請日： | 2018-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN207749149U | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 劉洋 | 申請（專利權）人： | 青島精誠華旗微電子設備有限公司 |
| 主分類號： | C21D9/00 | 分類號： | C21D9/00;C21D1/773 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266000 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱控溫裝置 擴散泵 真空熱處理設備 溫度傳感器 加熱元件 本實用新型 功率調節器 控溫儀表 加熱功率 擴散泵油 溫度過高 真空管道 揮發 加熱 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置，與擴散泵相對應，其特征在于：包括與擴散泵相對應的加熱控溫裝置，加熱控溫裝置包括功率調節器、溫度傳感器、加熱元件、控溫儀表；所述加熱元件與溫度傳感器安裝在擴散泵上。
2.根據權利要求1所述的一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置，其特征在于：所述加熱元件安裝在擴散泵下部，設置有加熱爐絲與耐火保溫材料，通過電源線與功率調節器連接。
3.根據權利要求2所述的一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置，其特征在于：所述功率調節器包括晶閘管模塊、熔斷器、散熱片，通過信號線與控溫儀表連接。
4.根據權利要求1所述的一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置，其特征在于：所述擴散泵底部安裝有盲管，位于擴散泵油液面附近；所述溫度傳感器安裝于盲管內，通過信號線將測量溫度實時反饋到控溫儀表。
5.根據權利要求4所述的一種真空熱處理設備上的擴散泵加熱控溫裝置，其特征在于：所述控溫儀表根據溫度傳感器反饋的溫度測量值與設定值相比較，控制功率調節器輸出功率。
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