[實用新型]一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環控制系統

有效

• 申請號: 201820095764.7
• 申請日: 2018-01-21
• 公開（公告）號: CN207823969U
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島精誠華旗微電子設備有限公司
• 主分類號: B22F9/02
• 分類號: B22F9/02;F27D19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環控制系統，包括反應腔，負壓恒壓閉環控制系統，真空系統，工控系統，其特征在于：所述反應腔與真空系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統包括供氣系統和進氣管路；所述進氣管路一端與供氣系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統、真空系統連接有工控系統。本實用新型設計合理，通過增加負壓恒壓閉環控制，工藝氣體可設定流量的通入，反應腔內壓力可以進行恒壓控制，在吸氫?歧化?脫氫?再復合工藝過程中可設定保持不同壓力值，反應腔內壓力更加穩定，提高制品合格率，并且由于控制負壓壓力，工藝氣體的損耗減小，從而降低生產成本，實用性強，適于推廣。

技術領域

本實用新型屬于真空氣氛熱處理爐領域，更具體地說，涉及一種生產各向異性釹鐵硼磁粉的設備（HDDR）上的負壓恒壓閉環控制系統。

背景技術

氣氛熱處理設備的工藝過程本質在于稀土金屬間化合物吸氫并歧化分解，再在隨后的強制脫氫過程中歧化產物復合成晶粒細小的原化合物相，從而制備出具有優異磁性能和磁各向異性的磁粉。以往在此過程中通入定量的工藝氣體氫氣，因氫氣受熱膨脹，反應腔內壓力增加，無法準確的控制反應腔內的氣氛壓力，導致制品合格率低，增加設備生產成本。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供了一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環控制系統，設計合理，通過增加負壓恒壓閉環控制，工藝氣體可設定流量的通入，反應腔內壓力可以進行恒壓控制，在吸氫-歧化-脫氫-再復合工藝過程中可設定保持不同壓力值，反應腔內壓力更加穩定，提高制品合格率，并且由于控制負壓壓力，工藝氣體的損耗減小，從而降低生產成本，實用性強，適于推廣。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：

一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環控制系統，與真空氣氛熱處理爐相對應，所述真空氣氛熱處理爐上包括反應腔，負壓恒壓閉環控制系統，真空系統，工控系統，其特征在于：所述反應腔與真空系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統包括供氣系統和進氣管路；所述進氣管路一端與供氣系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統、真空系統連接有工控系統。

作為一種優化的技術方案，所述供氣系統包括供氣管路、減壓器、過濾器、開關閥、質量流量控制器、壓力控制器。

作為一種優化的技術方案，所述進氣管路分為兩路，一路連接反應腔進氣端，另一路連接真空系統進氣端。

作為一種優化的技術方案，所述真空系統設置有擴散泵、羅茨泵、機械泵、真空閥門、慢抽閥、快抽閥。

作為一種優化的技術方案，所述反應腔上設置有壓力傳感器，通過信號線連接到工控系統，進行壓力值的反饋。

由于采用了上述技術方案，與現有技術相比，本實用新型設計合理，通過增加負壓恒壓閉環控制，工藝氣體可設定流量的通入，反應腔內壓力可以進行恒壓控制，在吸氫-歧化-脫氫-再復合工藝過程中可設定保持不同壓力值，反應腔內壓力更加穩定，提高制品合格率，并且由于控制負壓壓力，工藝氣體的損耗減小，從而降低生產成本，實用性強，適于推廣。

參照附圖和實施例對本實用新型做進一步說明。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施例中的結構示意圖。

具體實施方式

實施例

如圖1所示，一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環控制系統，與真空氣氛熱處理爐相對應，包括反應腔，負壓恒壓閉環控制系統，真空系統，工控系統，其特征在于：所述反應腔15與真空系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統包括供氣系統和進氣管路1；所述進氣管路1一端與供氣系統連接；所述負壓恒壓閉環控制系統、真空系統連接有工控系統14。