[實用新型]一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820095764.7 | 申請日： | 2018-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN207823969U | 公開（公告）日： | 2018-09-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉洋 | 申請（專利權）人： | 青島精誠華旗微電子設備有限公司 |
| 主分類號： | B22F9/02 | 分類號： | B22F9/02;F27D19/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266000 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 負壓 閉環(huán)控制系統(tǒng) 恒壓 反應腔 真空系統(tǒng) 本實用新型 工控系統(tǒng) 工藝氣體 供氣系統(tǒng) 進氣管路 熱處理爐 真空氣氛 內(nèi)壓力 制品合格率 閉環(huán)控制 復合工藝 恒壓控制 減小 歧化 脫氫 吸氫 | ||
1.一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，與真空氣氛熱處理爐相對應，所述真空氣氛熱處理爐上包括反應腔，負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，工控系統(tǒng)，其特征在于：所述反應腔與真空系統(tǒng)連接；所述負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)包括供氣系統(tǒng)和進氣管路；所述進氣管路一端與供氣系統(tǒng)連接；所述負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)連接有工控系統(tǒng)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，其特征在于：所述供氣系統(tǒng)包括供氣管路、減壓器、過濾器、開關閥、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，其特征在于：所述進氣管路分為兩路，一路連接反應腔進氣端，另一路連接真空系統(tǒng)進氣端。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，其特征在于：所述真空系統(tǒng)設置有擴散泵、羅茨泵、機械泵、真空閥門、慢抽閥、快抽閥。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種真空氣氛熱處理爐上的負壓恒壓閉環(huán)控制系統(tǒng)，其特征在于：所述反應腔上設置有壓力傳感器，通過信號線連接到工控系統(tǒng)，進行壓力值的反饋。
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