[實用新型]高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件

有效

• 申請號: 201820091510.8
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN208010917U
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 馮華南
• 申請（專利權）人: 東莞市欣創精密模具配件有限公司
• 主分類號: F16J9/28
• 分類號: F16J9/28
• 代理公司: 東莞市永邦知識產權代理事務所(普通合伙) 44474
• 代理人: 毛有幫

本實用新型涉及陶瓷零件技術領域，且公開了一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，包括底部陶瓷密封環，所述底部陶瓷密封環的頂部固定連接有底部固定環，所述底部固定環的頂部固定連接有底座，所述底座的遠離底部固定環的一端固定連接有彈簧，所述彈簧遠離底座的一端固定連接有頂座，所述頂座遠離彈簧的一端固定連接有頂部固定環。該高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，通過底部固定環、底座、彈簧、頂座以及頂部固定環之間的配合，彈簧可以幫底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環分擔較多的力，從而保證底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環不會受到較大的壓力，提高底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及陶瓷零件技術領域，具體為一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件。

背景技術

陶瓷零件也就是陶瓷配件，陶瓷配件，是指用特種陶瓷材料經過混料、成型、燒結以及加工工序制成的機械零部件，使用較多的陶瓷配件為陶瓷密封圈。

陶瓷密封圈采用先進的熱硫化工藝將特種氧化鋁剛玉耐磨陶瓷按照一定的布局硫化在特種橡膠內，這種結構既發揮了氧化鋁陶瓷耐高溫磨損、耐腐蝕性能，又發揮了橡膠材料高強度、高韌性和密封性好的特點，但是當陶瓷密封圈受到較大的壓力后，陶瓷密封圈容易變形，這樣會影響陶瓷密封圈密封效果，從而影響陶瓷密封圈的使用壽命。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，具備可以降低陶瓷密封圈受到的壓力，提高陶瓷密封圈的使用壽命等優點，解決了陶瓷密封圈容易變形，影響其使用壽命的問題。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，包括底部陶瓷密封環，所述底部陶瓷密封環的頂部固定連接有底部固定環，所述底部固定環的頂部固定連接有底座，所述底座的遠離底部固定環的一端固定連接有彈簧，所述彈簧遠離底座的一端固定連接有頂座，所述頂座遠離彈簧的一端固定連接有頂部固定環，所述頂部固定環遠離頂座的一端固定連接有頂部陶瓷密封環，所述頂部固定環底部的外側固定連接有第一密封囊，所述第一密封囊遠離頂部固定環的一端固定連接在底部固定環頂部的外側，所述底部固定環頂部的內側固定連接有第二密封囊，所述第二密封囊遠離底部固定環的一端固定連接在頂部固定環底部的內側。

優選的，所述底座的頂部固定連接有固定板，所述固定板的頂部固定連接有圓環柱，所述圓環柱的內部活動套接有活動柱，所述活動柱的頂部固定連接在頂座的底部，所述固定板、圓環柱以及活動柱均位于彈簧的內部。

優選的，所述固定板頂部的中部固定連接有拉線，所述拉線遠離固定板的一端固定連接在活動柱底部的中部。

優選的，所述圓環柱的內部開設有固定槽，所述固定槽的內部固定連接有轉軸，所述轉軸的外部活動套接有滾輪，所述滾輪的外壁與活動柱的外壁相貼合。

優選的，所述轉軸與滾輪的連接處設置有軸承，所述軸承固定連接在滾輪的內部。

優選的，所述底部陶瓷密封環、底部固定環、頂部固定環以及頂部陶瓷密封環的大小形狀一致。

(三)有益效果

與現有技術相比，本實用新型提供了一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，具備以下有益效果：

1、該高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，通過底部固定環、底座、彈簧、頂座以及頂部固定環之間的配合，彈簧可以幫底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環分擔較多的力，從而保證底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環不會受到較大的壓力，從而減少底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環的磨損，提高底部陶瓷密封環以及頂部陶瓷密封環的使用壽命。