[實用新型]高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件

有效

• 申請號: 201820091510.8
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN208010917U
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 馮華南
• 申請（專利權）人: 東莞市欣創精密模具配件有限公司
• 主分類號: F16J9/28
• 分類號: F16J9/28
• 代理公司: 東莞市永邦知識產權代理事務所(普通合伙) 44474
• 代理人: 毛有幫

1.一種高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，包括底部陶瓷密封環(1)，其特征在于：所述底部陶瓷密封環(1)的頂部固定連接有底部固定環(2)，所述底部固定環(2)的頂部固定連接有底座(3)，所述底座(3)的遠離底部固定環(2)的一端固定連接有彈簧(4)，所述彈簧(4)遠離底座(3)的一端固定連接有頂座(5)，所述頂座(5)遠離彈簧(4)的一端固定連接有頂部固定環(6)，所述頂部固定環(6)遠離頂座(5)的一端固定連接有頂部陶瓷密封環(7)，所述頂部固定環(6)底部的外側固定連接有第一密封囊(8)，所述第一密封囊(8)遠離頂部固定環(6)的一端固定連接在底部固定環(2)頂部的外側，所述底部固定環(2)頂部的內側固定連接有第二密封囊(9)，所述第二密封囊(9)遠離底部固定環(2)的一端固定連接在頂部固定環(6)底部的內側。

2.根據權利要求1所述的高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，其特征在于：所述底座(3)的頂部固定連接有固定板(10)，所述固定板(10)的頂部固定連接有圓環柱(11)，所述圓環柱(11)的內部活動套接有活動柱(12)，所述活動柱(12)的頂部固定連接在頂座(5)的底部，所述固定板(10)、圓環柱(11)以及活動柱(12)均位于彈簧(4)的內部。

3.根據權利要求2所述的高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，其特征在于：所述固定板(10)頂部的中部固定連接有拉線(13)，所述拉線(13)遠離固定板(10)的一端固定連接在活動柱(12)底部的中部。

4.根據權利要求2所述的高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，其特征在于：所述圓環柱(11)的內部開設有固定槽(14)，所述固定槽(14)的內部固定連接有轉軸(15)，所述轉軸(15)的外部活動套接有滾輪(16)，所述滾輪(16)的外壁與活動柱(12)的外壁相貼合。

5.根據權利要求4所述的高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，其特征在于：所述轉軸(15)與滾輪(16)的連接處設置有軸承(17)，所述軸承(17)固定連接在滾輪(16)的內部。

6.根據權利要求1所述的高精度半導體設備用高純氧化鋁精密陶瓷零件，其特征在于：所述底部陶瓷密封環(1)、底部固定環(2)、頂部固定環(6)以及頂部陶瓷密封環(7)的大小形狀一致。