[實(shí)用新型]一種晶圓觀察檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820074444.3
• 申請(qǐng)日: 2018-01-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207850937U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張浩;陳志遠(yuǎn);朱錦鍵;萬(wàn)伂芯;聶偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/84
• 分類號(hào): G01N21/84
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 董旭東

本實(shí)用新型公開(kāi)了電子芯片領(lǐng)域內(nèi)的一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，包括顯微鏡和靜電手環(huán)，靜電手環(huán)經(jīng)導(dǎo)線連接有接地插頭，所述顯微鏡設(shè)置在工作臺(tái)上，工作臺(tái)的底部豎直設(shè)置有至少四根支撐腿，相鄰支撐腿之間設(shè)有加強(qiáng)連接桿，加強(qiáng)連接桿平行設(shè)置有兩根，兩根加強(qiáng)連接桿之間橫向設(shè)置有支撐桿，其中一根所述支撐腿上設(shè)有警報(bào)器，警報(bào)器上設(shè)有可容接地插頭插入的插孔，所述警報(bào)器和顯微鏡之間采用串聯(lián)電路連接，安裝有警報(bào)器的支撐腿上還設(shè)有同時(shí)控制警報(bào)器和顯微鏡的聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述警報(bào)器上設(shè)有指示燈。本實(shí)用新型能夠確保工作人員在佩戴靜電手環(huán)之后，再使用顯微鏡觀察和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品，保護(hù)晶圓產(chǎn)品，防止晶圓被擊穿。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于電子芯片領(lǐng)域，特別涉及一種用于觀察和檢測(cè)電子芯片的裝置。

背景技術(shù)

芯片，又稱微電路、微芯片或集成電路，是指內(nèi)含集成電路的硅片，體積很小，常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分。半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造、晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后的測(cè)試組成。塑封之后，還要進(jìn)行一系列操作，如后固化、切筋和成型、電鍍以及打印等工藝。典型的封裝工藝流程為：劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、打印、切筋和成型、外觀檢查、成品測(cè)試和包裝出貨。現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用顯微鏡觀測(cè)和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品，晶圓是電子元器件，觀察檢測(cè)時(shí)需要使用靜電手環(huán)，以防止工作人員身體上的靜電將晶圓擊穿，其不足之處在于：目前的靜電手環(huán)的開(kāi)關(guān)與顯微鏡的開(kāi)關(guān)是分開(kāi)獨(dú)立設(shè)置的，工作人員可以在不佩戴靜電手環(huán)的情況下，打開(kāi)顯微鏡開(kāi)關(guān)并觀察和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品，會(huì)發(fā)生工作人員身上的靜電將晶圓擊穿的情況。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，能夠確保工作人員在佩戴靜電手環(huán)之后，再使用顯微鏡觀察和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品，保護(hù)晶圓產(chǎn)品，防止晶圓被擊穿。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，包括顯微鏡和靜電手環(huán)，靜電手環(huán)經(jīng)導(dǎo)線連接有接地插頭，所述顯微鏡設(shè)置在工作臺(tái)上，工作臺(tái)的底部豎直設(shè)置有至少四根支撐腿，相鄰支撐腿之間設(shè)有加強(qiáng)連接桿，加強(qiáng)連接桿平行設(shè)置有兩根，兩根加強(qiáng)連接桿之間橫向設(shè)置有支撐桿，其中一根所述支撐腿上設(shè)有警報(bào)器，警報(bào)器上設(shè)有可容接地插頭插入的插孔，所述警報(bào)器和顯微鏡之間采用串聯(lián)電路連接，安裝有警報(bào)器的支撐腿上還設(shè)有同時(shí)控制警報(bào)器和顯微鏡的聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述警報(bào)器上設(shè)有指示燈。

本實(shí)用新型使用時(shí)，先將靜電手環(huán)佩戴在工作人員的手腕上，然后將接地插頭插入警報(bào)器的插孔，打開(kāi)聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)后，警報(bào)器和顯微鏡同時(shí)通電，工作人員就可以使用顯微鏡觀察和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：在不佩戴靜電手環(huán)的情況下，顯微鏡無(wú)法通電使用，可以確保工作人員在佩戴靜電手環(huán)之后，再使用顯微鏡觀察和檢測(cè)晶圓產(chǎn)品，保護(hù)晶圓產(chǎn)品，防止晶圓被擊穿。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述指示燈為綠色時(shí)，靜電手環(huán)的導(dǎo)線導(dǎo)電良好；指示燈為紅色時(shí)，靜電手環(huán)的導(dǎo)線導(dǎo)電不暢。指示燈為綠色時(shí)，可以使用顯微鏡觀察晶圓；指示燈為紅色時(shí)，接地插頭沒(méi)有接地或者工作人員未佩戴靜電手環(huán)，無(wú)法使用顯微鏡。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐腿包括固定套管和移動(dòng)桿，移動(dòng)桿插入固定套管內(nèi)部，固定套管上安裝有氣缸，氣缸的活塞桿經(jīng)連接支架與移動(dòng)桿固定連接。氣缸驅(qū)動(dòng)移動(dòng)桿上下移動(dòng)，可以調(diào)整支撐腿的高度，將顯微鏡調(diào)整到合適位置，以適應(yīng)不同體型的工作人員。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述靜電手環(huán)的內(nèi)圈設(shè)有環(huán)形固定圈，固定圈上固定連接有隔離層，隔離層采用絕緣材料制成。將隔離層覆蓋在靜電手環(huán)上，可以將人體身上的靜電隔離掉，進(jìn)一步保護(hù)產(chǎn)品。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述靜電手環(huán)的端部設(shè)置有固定扣。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為支撐腿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為靜電手環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為圖3的AA向剖視圖。