[實(shí)用新型]一種晶圓觀察檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820074444.3
• 申請(qǐng)日: 2018-01-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207850937U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張浩;陳志遠(yuǎn);朱錦鍵;萬(wàn)伂芯;聶偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/84
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/84
• 代理公司: 南京蘇科專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 董旭東

1.一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，包括顯微鏡和靜電手環(huán)，靜電手環(huán)經(jīng)導(dǎo)線連接有接地插頭，其特征在于，所述顯微鏡設(shè)置在工作臺(tái)上，工作臺(tái)的底部豎直設(shè)置有至少四根支撐腿，相鄰支撐腿之間設(shè)有加強(qiáng)連接桿，加強(qiáng)連接桿平行設(shè)置有兩根，兩根加強(qiáng)連接桿之間橫向設(shè)置有支撐桿，其中一根所述支撐腿上設(shè)有警報(bào)器，警報(bào)器上設(shè)有可容接地插頭插入的插孔，所述警報(bào)器和顯微鏡之間采用串聯(lián)電路連接，安裝有警報(bào)器的支撐腿上還設(shè)有同時(shí)控制警報(bào)器和顯微鏡的聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述警報(bào)器上設(shè)有指示燈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，其特征在于，所述指示燈為綠色時(shí)，靜電手環(huán)的導(dǎo)線導(dǎo)電良好；指示燈為紅色時(shí)，靜電手環(huán)的導(dǎo)線導(dǎo)電不暢。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，其特征在于，所述支撐腿包括固定套管和移動(dòng)桿，移動(dòng)桿插入固定套管內(nèi)部，固定套管上安裝有氣缸，氣缸的活塞桿經(jīng)連接支架與移動(dòng)桿固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，其特征在于，所述靜電手環(huán)的內(nèi)圈設(shè)有環(huán)形固定圈，固定圈上固定連接有隔離層，隔離層采用絕緣材料制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種晶圓觀察檢測(cè)裝置，其特征在于，所述靜電手環(huán)的端部設(shè)置有固定扣。