[實用新型]一種晶圓電鍍治具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820066531.4 | 申請日： | 2018-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN207811901U | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃雷 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆山成功環(huán)保科技有限公司 |
| 主分類號： | C25D7/12 | 分類號： | C25D7/12;C25D17/06 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232 | 代理人： | 黃珩 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶圓 彈性導電環(huán) 電鍍 蓋板 電鍍液 下表面 彈性墊環(huán) 治具 種晶 本實用新型 導電方式 接觸不良 治具本體 均勻性 流入腔 面接觸 上表面 藥水 緊靠 緊壓 壓緊 震蕩 開口 承載 侵蝕 | ||
1.一種晶圓電鍍治具，其特征在于，包括：
治具本體，其上設(shè)置有凹槽，所述凹槽的外形、尺寸與所述晶圓相適配，且在所述凹槽的底部設(shè)置有與外部電路相連接的彈性導電環(huán)，用于承載所述晶圓的下表面；
蓋板，其上設(shè)置有彈性墊環(huán)，當所述蓋板對所述晶圓上表面進行壓緊時形成一腔體；
在所述蓋板上設(shè)置有開口，以使得電鍍液流入所述腔體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凹槽內(nèi)設(shè)置有第一環(huán)形槽，以用來放置所述彈性導電環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述彈性導電環(huán)數(shù)量為多個，同心布置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述彈性導電環(huán)的材質(zhì)為導電橡膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述蓋板上設(shè)置有凸臺，其外形尺寸與所述凹槽相適配。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺上設(shè)置有外螺紋，相應地，在所述凹槽的內(nèi)部上設(shè)置有與所述外螺紋相適配的內(nèi)螺紋。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺的棱邊上設(shè)置有倒角。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，在所述凸臺上設(shè)置有第二環(huán)形槽，以用來放置所述彈性墊環(huán)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓電鍍治具，其特征在于，所述開口數(shù)量為多個，沿所述蓋板中心環(huán)形均布。
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