[實用新型]一種晶圓自動定位系統及包括它的裝載機

有效

• 申請號: 201820056531.6
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN207690775U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 黃雷
• 申請（專利權）人: 昆山成功環保科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 黃珩

本實用新型涉及了一種晶圓自動定位系統，其包括調整平臺、真空發生器、機械手、驅動裝置、激光測距系統、攝像系統、第一控制器等幾部分。晶圓初步放置到位后，通過設置在其正上方的攝像系統實時地對其定位標記進行捕捉，將畫面傳送至第一控制器，產生其浮動坐標(X、Y)，又通過激光測距系統得出晶圓上表面的Z相坐標值，而后與第一控制器中預設的坐標值進行對比，發出控制信號。驅動裝置根據上述控制信號驅使調整平臺進行X、Y、Z軸方向移動，進行晶圓位置二次調整，從而提高了晶圓的定位精度。

技術領域

本實用新型涉及晶圓制造領域，特別涉及一種晶圓自動定位系統及包括它的裝載機。

背景技術

在晶圓封裝過程中，一般都是借助帶有吸盤的機械手進行晶圓放置，在長時間使用過程中，機械手手會發生運動偏差或機械振動等不可避免的情況，從而降低了晶圓的定位精度。然而，隨著技術的進步，對晶圓的精度的要求越來越高，從而對放置裝載定位精度也提出了更高的要求，如何保證晶圓在裝載過程中的定位精度，減小誤差是該領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的問題在于提供一種結構簡單、定位精度高、過程快捷的晶圓自動定位系統。

為了解決上述技術問題，本實用新型涉及了一種晶圓自動定位系統，其包括調整平臺，用于放置晶圓；

該調整平臺上設置有真空吸附槽，且其與真空發生器相連；

機械手，用于拾取晶圓并將其放入調整平臺上；

晶圓上設置有定位標記；

驅動裝置，用于驅使調整平臺進行X、Y、Z軸方向移動；

激光測距系統，用于實時對晶圓的Z軸方向尺寸進行檢測；

攝像系統，用于攝取晶圓表面并形成實時畫面，并捕捉晶圓上的定位標記；

第一控制器，其與激光測距系統及攝像系統相連；該第一控制器根據攝像系統捕捉到的定位標記產生浮動坐標植，并根據該浮動坐標植與預設坐標植進行對比，從而發出控制信號至驅動裝置。

晶圓初步放置到位后，通過設置在其正上方的攝像系統實時地對其定位標記進行捕捉，將畫面傳送至第一控制器，產生其浮動坐標(X、 Y)，又通過激光測距系統得出晶圓上表面的Z相坐標值，而后與第一控制器中預設的坐標值進行對比，發出控制信號。驅動裝置根據上述控制信號驅使調整平臺進行X、Y、Z軸方向移動，進行晶圓位置二次調整，從而提高了晶圓的定位精度。

作為本實用新型的進一步改進，真空吸附槽為同心環形槽，且其棱邊上設置有倒角。

當真空發生器起作用時，晶圓在同心環形狀的真空吸槽作用下，其吸附變形較小。另外在真空吸槽的棱邊上還設置倒角，這樣一來，降低了由于局部形變導致的應力對晶圓的影響。

作為本實用新型的進一步改進，該晶圓自動定位系統還包括第二控制器，且其與真空發生器相連。在調整平臺上還設置有感應裝置，用來識別晶圓是否放置到位，并發出相應信號至第二控制器。

當設置在調整平臺上的感應裝置檢測到晶圓放置到位后，第二控制器即時發出控制信號至真空發生器，借助真空吸附槽對晶圓進行吸附、定位，從而防止了調整平臺在移動過程中晶圓相對滑動。

作為本實用新型的進一步改進，感應裝置包括紅外線發射器和紅外線接收器。

當晶圓未放置到調整平臺時，紅外線接收器能對紅外線進行接收；而當晶圓放置到位后，紅外線向紅外線接收器的傳播路徑被阻擋。該感應裝置響應速度快，結構簡單。

作為本實用新型的進一步改進，攝像系統包括多個設置于于晶圓上方的電荷耦合元件圖像傳感器。