[實用新型]一種晶圓自動定位系統及包括它的裝載機

有效

• 申請號: 201820056531.6
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN207690775U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 黃雷
• 申請（專利權）人: 昆山成功環保科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 黃珩

1.一種晶圓自動定位系統，其特征在于，包括：

調整平臺，用于放置晶圓；

所述調整平臺上設置有真空吸附槽，與真空發生器相連；

機械手，用于拾取所述晶圓并將其放入所述調整平臺上；

所述晶圓上設置有定位標記；

驅動裝置，用于驅使所述調整平臺進行X、Y、Z軸方向移動；

激光測距系統，用于實時對所述晶圓的Z軸方向尺寸進行檢測；

攝像系統，用于攝取所述晶圓表面并形成實時畫面，并捕捉晶圓上的定位標記；

第一控制器，其與所述激光測距系統及所述攝像系統相連，該第一控制器根據攝像系統捕捉到的定位標記產生浮動坐標植，并根據該浮動坐標植與預設坐標植進行對比，從而發出控制信號至所述驅動裝置。

2.根據權利要求1所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述真空吸附槽為同心環形槽，且其棱邊上設置有倒角。

3.根據權利要求1所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，還包括第二控制器，且其與所述真空發生器相連；在所述調整平臺上還設置有感應裝置，用來識別晶圓是否放置到位，并發出相應信號至所述第二控制器。

4.根據權利要求3所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述感應裝置包括紅外線發射器和紅外線接收器。

5.根據權利要求1所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述攝像系統包括多個設置于所述晶圓上方的電荷耦合元件圖像傳感器。

6.根據權利要求1所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述驅動裝置包括伺服電機。

7.根據權利要求6所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述驅動裝置還包括滾珠絲杠。

8.根據權利要求1所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述機械手包括真空吸附裝置，其與所述調整平臺通過電磁閥與所述真空發生器相連。

9.根據權利要求8所述的晶圓自動定位系統，其特征在于，所述電磁閥為換向閥。

10.裝載機，包括機架，其特征在于，還包括如權利要求1-9任一項中所述的晶圓自動定位系統，其設置于所述機架上。