[實用新型]一種自清潔式硅片翻轉機構

有效

• 申請號: 201820036701.4
• 申請日: 2018-01-10
• 公開（公告）號: CN207800577U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 李世山;陽軍;吳會旭;李釗
• 申請（專利權）人: 蘇州聚晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 李先鋒

1.一種自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于包括底座、固定座、氣缸、滑動板、支座、伺服電機、第一齒輪、轉軸、第二齒輪、過渡板、夾爪氣缸、自清洗機構，所述的固定座位于底座上端左側，所述的固定座與底座通過螺栓相連，所述的氣缸位于固定座左側，所述的氣缸與固定座通過螺栓相連，所述的滑動板位于底座上端左側且位于氣缸右側，所述的滑動板與氣缸螺紋相連，所述的支座位于滑動板頂部，所述的支座與滑動板通過螺栓相連，所述的伺服電機位于支座上端左側，所述的伺服電機與支座通過螺栓相連，所述的第一齒輪位于伺服電機右側，所述的第一齒輪與伺服電機鍵相連，所述的轉軸貫穿支座，所述的轉軸與支座轉動相連，所述的第二齒輪位于第一齒輪下端且被轉軸貫穿，所述的第二齒輪與第一齒輪嚙合相連且與轉軸鍵相連，所述的過渡板位于轉軸右側，所述的過渡板與轉軸螺紋相連，所述的夾爪氣缸位于過渡板外側，所述的夾爪氣缸與過渡板螺紋相連，所述的自清洗機構數量為2件，分別與夾爪氣缸的夾爪固連。

2.如權利要求1所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的底座還設有導軌，所述的導軌位于底座上端，所述的導軌與底座通過螺栓相連。

3.如權利要求1所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的底座還設有定位塊，所述的定位塊位于底座上端右側，所述的定位塊與底座通過螺栓相連。

4.如權利要求3所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的定位塊還設有第一接近開關，所述的第一接近開關貫穿定位塊，所述的第一接近開關與定位塊螺紋相連。

5.如權利要求1所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的固定座還設有第二接近開關，所述的第二接近開關貫穿固定座，所述的第二接近開關與固定座螺紋相連。

6.如權利要求1所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的滑動板還設有滑塊，所述的滑塊位于滑動板底部且被導軌貫穿，所述的滑塊與滑動板通過螺栓相連，所述的滑塊可以沿導軌左右滑動。

7.如權利要求1所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的自清洗機構還包括連接板、設有若干分流孔的分流箱、墊板，所述的連接板與夾爪氣缸的夾爪固連，所述的分流箱位于連接板下端，所述的分流箱與連接板通過螺栓相連，所述的墊板位于分流箱下端，所述的墊板與分流箱粘接相連，所述的分流孔位于分流箱下端。

8.如權利要求7所述的自清潔式硅片翻轉機構，其特征在于所述的分流箱還設有進氣管，所述的進氣管位于分流箱上端，所述的進氣管與分流箱螺紋相連。