[實用新型]一種電容壓力傳感器

有效

• 申請號: 201820031897.8
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN207689061U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 雷芬;薛光明;王君
• 申請（專利權）人: 上海潤璋電氣設備有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12;G01L1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種電容壓力傳感器，包括測量膜片以及固定在測量膜片上下兩面的固定極板，上下兩個所述固定極板和測量膜片之間形成對稱的兩個壓腔，壓腔內部均設置有環形隔離盤，壓腔通過進氣口連通外部環境，壓腔和進氣口外部配套設置有對應的球面基座，進氣口穿過球面基座固定在外罩上，進氣口至壓腔處依次設置有隔離膜片和硅油；本實用新型使用差動電容式壓力傳感器比傳統單電容式的靈敏度高、線性度好，在實現對被測氣體測量時，且使用隔離膜片和硅油對被測氣體進行過濾，將腐蝕性物質進行隔離，可適應更多的使用環境，大大提高差動式壓力傳感器的使用范圍。

技術領域

本實用新型涉及一種傳感器，具體為一種電容壓力傳感器。

背景技術

電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器，特點是：低的輸入力和侏儒能量，高動態響應，小的自然效應，環境適應性好。電容式壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定極板之間形成的電容量發生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器包括陶瓷電容壓力傳感器，相較于金屬電容是傳感器，陶瓷電容壓力傳感器可以直接應用于衛生型行業，以及腐蝕性介質的測量，性價比高，可應用于液體、氣體或各種流體的壓力測量。但是，陶瓷電容壓力傳感器極易因過載而造成損壞，壽命較短，增加了生產成本。

因此，如何改變現有技術中，陶瓷電容壓力傳感器易因過載而損壞的現狀，是本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供一種電容壓力傳感器，以解決上述現有技術存在的問題，使陶瓷電容壓力傳感器在過載時能夠得到有效保護。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型提供一種電容壓力傳感器，包括測量膜片以及固定在測量膜片上下兩面的固定極板，上下兩個所述固定極板和測量膜片之間形成對稱的兩個壓腔，壓腔內部均設置有環形隔離盤，壓腔通過進氣口連通外部環境，壓腔和進氣口外部配套設置有對應的球面基座，進氣口穿過球面基座固定在外罩上，進氣口至壓腔處依次設置有隔離膜片和硅油。

作為本實用新型的一種優選技術方案，固定極板是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述固定極板和測量膜片上均通過引線電性連接輸出端子，輸出端子設置在外罩外部。

作為本實用新型的一種優選技術方案，固定極板和球面基座為一體成型，外罩與球面基座配套使用。

本實用新型所達到的有益效果是：本實用新型使用差動電容式壓力傳感器比傳統單電容式的靈敏度高、線性度好，在實現對被測氣體測量時，且使用隔離膜片和硅油對被測氣體進行過濾，將腐蝕性物質進行隔離；

本實用新型的電容壓力傳感器，包括兩個固定極板和可變電極，可變電極設置在測量膜片內，在測量膜片和兩個固定極板之間分別形成兩個可變的電容壓腔，在壓力的作用下，其中一個壓腔5的容量增大，而另一個壓腔5則相應減小，測量結果由差動式電路輸出；

本實用新型的固定極板是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成，當測試壓力超過設計測量值時，測量膜片上的環形隔離盤先與固定極板直接接觸，測量膜片與固定極板之間始終隔著一個環形隔離盤，這可有效防止固定極板和測量膜片之間直接接觸，造成的短路，起到限位保護作用，防止傳感器因過載造成損壞，同時測量膜片受到固定極板凹面的保護而不致破裂。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。

在附圖中：

圖1是本實用新型結構示意圖；