[實用新型]一種電容壓力傳感器

有效

• 申請號: 201820031897.8
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN207689061U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 雷芬;薛光明;王君
• 申請（專利權）人: 上海潤璋電氣設備有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12;G01L1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電容壓力傳感器，其特征在于，包括測量膜片（1）以及固定在測量膜片（1）上下兩面的固定極板（3），上下兩個所述固定極板（3）和測量膜片（1）之間形成對稱的兩個壓腔（5），壓腔（5）內部均設置有環形隔離盤（2），壓腔（5）通過進氣口（9）連通外部環境，壓腔（5）和進氣口（9）外部配套設置有對應的球面基座（6），進氣口（9）穿過球面基座（6）固定在外罩（10）上，進氣口（9）至壓腔（5）處依次設置有隔離膜片（8）和硅油（7）。

2.根據權利要求1所述的一種電容壓力傳感器，其特征在于，固定極板（3）是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。

3.根據權利要求1所述的一種電容壓力傳感器，其特征在于，所述固定極板（3）和測量膜片（1）上均通過引線電性連接輸出端子（4），輸出端子（4）設置在外罩（10）外部。

4.根據權利要求1所述的一種電容壓力傳感器，其特征在于，固定極板（3）和球面基座（6）為一體成型，外罩（10）與球面基座（6）配套使用。