[實用新型]并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備

有效

• 申請號: 201820031565.X
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN207793427U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 郎文昌;劉偉;胡曉忠
• 申請（專利權）人: 溫州職業技術學院
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/27
• 代理公司: 溫州名創知識產權代理有限公司 33258
• 代理人: 陳加利

本實用新型涉及一種并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其包括類金剛石薄膜工藝腔體、回轉腔體、進料系統、真空系統、物料車，類金剛石薄膜工藝腔體內設置有三組工藝組件密封板、周向分布的四組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置，物料傳導裝置、物料腔，進料系統設置有可開合的密封門板，真空系統分別對金剛石薄膜工藝腔體與回轉腔體的組合體、進料系統進行真空處理，類金剛石薄膜工藝腔體內可形成獨立真空室并獨立進行類金剛石薄膜制備，回轉裝置可實現物料車的傳動及自轉，回轉腔體內的物料腔可與儲料腔及進料系統形成密封的獨立真空室，進料系統可將物料取出及放入。采用上述方案，本實用新型可實現批量單掛物料并行連續式鍍膜生產。

技術領域

本實用新型屬于真空鍍膜設備技術領域，具體涉及一種并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備。

背景技術

類金剛石薄膜(Diamond-like carbon film) 由于具有許多優異的物理、化學性能，如高硬度、低摩擦系數、優良的耐磨性、高介電常數、高擊穿電壓、寬帶隙、化學惰性和生物相容性等。經過多年的發展，DLC薄膜在很多領域的應用也已進入實用和工業化生產階段。

現有技術中的類金剛石涂層制備裝置主要為單體式鍍膜機，單體式鍍膜機通常是有一個真空腔體及抽氣系統組成，真空鍍膜工藝模塊裝載在腔體不同位置上，在達到所需真空度時，按順序啟用所需真空鍍膜工藝模塊，來實現材料表面的加工，單一腔體導致產品進出料時需要開關門，不能對產品進行連續生產，這會大大降低生產效率，增大人工成本，而且生產的不連續性造成實際生產中的產品差異性增大，一定程度上會影響產品質量。同時單體式鍍膜轉架在腔體內公轉，轉架往往比較大，等離子體在整個鍍膜空間的分布極其不均勻，真正鍍膜時間短，鍍膜等待時間過長，嚴重影響產品質量，鍍膜效率低。

而自動連續式真空鍍膜設備是多個獨立的鍍膜腔的真空鍍膜裝置，具有連續不間斷生產、工藝穩定、生產節拍短的特點，目前大量應用于工業生產。連續式真空鍍膜設備可以大大提高生產的自動化程度，提高生產效率，提高良品率。

但是連續式真空鍍膜設備結構復雜，多個獨立的鍍膜腔需要配置多個高真空泵組，大量閘門的使用，增加了生產成本、生產時間、生產空間，復雜的設備增加了待鍍工件傳動的難度，多個腔體的存在也使增加了生產過程中故障維修的難度和成本，連續式鍍膜設備的高門檻大大提高了企業的使用成本；此外，現有的連續式真空鍍膜設備對于一些多面、異形的產品（如銑刀、汽車耐磨關鍵零部件）設計能夠實現自轉的特種鍍膜設備時，受真空門閥高成本及大型翻板閥或插板閥難加工、傳動過程的復雜、生產成本的限制，很難設計生產出能夠實用的量產機。目前尚未有連續式類金剛石涂層設備。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種可在一個真空腔內實現對產品連續式鍍膜生產的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備。