[實用新型]并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備

有效

• 申請號: 201820031565.X
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN207793427U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 郎文昌;劉偉;胡曉忠
• 申請（專利權）人: 溫州職業技術學院
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/27
• 代理公司: 溫州名創知識產權代理有限公司 33258
• 代理人: 陳加利

1.一種并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：包括類金剛石薄膜工藝腔體、回轉腔體、進料系統、真空系統、物料車，類金剛石薄膜工藝腔體內設置有三組工藝組件密封板、周向分布的四組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置，回轉腔體設置有回轉伸縮裝置、物料傳導裝置、物料腔，進料系統設置有可開合的密封門板，真空系統分別對類金剛石薄膜工藝腔體與回轉腔體的組合體、進料系統進行真空處理，物料車上可裝載樹形單掛物料，類金剛石薄膜工藝腔體內可形成獨立真空室并獨立進行類金剛石薄膜制備，回轉裝置可實現物料車的傳動及自轉，回轉腔體內的物料腔可與儲料腔及進料系統形成密封的獨立真空室并實現物料車傳導，進料系統可將物料取出及放入，所述的類金剛石薄膜工藝腔體內設置有三組工藝組件密封板、周向分布的四組儲料腔、回轉裝置、物料引導裝置，三組所述的工藝組件密封板裝配有氣相沉積工藝模塊，并可與與之相對的儲料腔形成獨立的工藝真空室，每組工藝真空室的功能不同,分別為離子清洗模塊、過渡涂層模塊、類金剛石薄膜沉積模塊，從而獨立進行相應的氣相沉積類金剛石薄膜制備，四組所述的儲料腔裝配在回轉裝置上，所述回轉裝置可實現儲料腔的公轉及儲物腔內的物料車自轉，所述物料引導裝置裝配在儲料腔內，通過氣缸伸展推動，可實現物料車在類金剛石薄膜工藝腔體及回轉腔體之間傳導。

2.根據權利要求1所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的回轉腔體設置有回轉伸縮裝置、物料傳導裝置、物料腔，所述物料腔有兩組，裝配在回轉伸縮裝置上，所述回轉伸縮裝置可通過雙向氣缸實現物料腔的伸縮及轉動，一個物料腔與所述類金剛石薄膜工藝腔體內的儲料腔形成密封的導料真空室并通過物料傳導裝置實現物料車的傳導，另一個物料腔與進料系統形成進出料真空室，可通過進料系統門板的開合將物料取出放入物料車上。

3.根據權利要求1所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的進料系統上設置有可開合的進料門板，進料系統與回轉腔體、類金剛石薄膜工藝腔體通過螺栓禁錮。

4.根據權利要求1所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的真空系統包括分別對類金剛石薄膜工藝腔體與回轉腔體的組合體、進料系統進行獨立真空處理的真空泵組。

5.根據權利要求1所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的物料車為帶有轉動輪的可裝載單掛樹形夾具的運輸平臺，所述物料車通過機械裝配實現物料車與所述類金剛石薄膜工藝腔體內的回轉裝置之間齒輪傳動，從而實現物料車上樹形夾具的自轉。

6.根據權利要求2所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的工藝真空室內可獨立進行氣相沉積類金剛石薄膜制備，所述導料真空室及進出料真空室可進行物料的傳導及取出、放入，所述的工藝真空室內裝配的工藝模塊包括磁控濺射模塊、電弧離子鍍模塊、離子源模塊及其他氣相沉積模塊，可根據每組工藝真空室的具體功能進行裝配。

7.根據權利要求2或3所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的物料傳導裝置及物料引導裝置是通過氣缸的伸展推動物料的移動，并通過機械桿卡位實現物料車的平穩傳導，所述的類金剛石薄膜工藝腔體內通過氣缸驅動工藝組件密封板與相對的儲料腔形成獨立的密封工藝真空室，所述回轉腔體內的兩組物料腔通過回轉伸縮裝置的伸縮分別與類金剛石薄膜工藝腔體內的儲物腔及進料系統形成獨立的密封導料真空室及進出料真空室。

8.根據權利要求1所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的回轉腔體內氣體、水冷及其他輔助組件是通過裝配在類金剛石薄膜工藝腔體、回轉腔體上板上的同步轉動軸通過與類金剛石薄膜工藝腔體及回轉腔體轉動電極同步轉動來實現傳動過程組件的同軸轉動，同步轉動軸外端裝配有萬向接頭，所述的物料腔上裝配有電磁控制的外接抽氣閥，可通過抽氣閥的開合，實現在形成獨立密封導料真空室時的真空處理；所述的工藝組件密封板上有通過波紋管與真空系統連接的管路,可對工藝真空室在工藝過程中進行真空處理。

9.根據權利要求書7所述的并行周向連續式類金剛石薄膜涂覆設備，其特征在于：所述的離子清洗模塊包括離子源、高能電弧粒子清洗模塊及其他具有等離子體清洗功能的物理氣相沉積模塊，所述的過渡涂層模塊包括磁控濺射模塊、電弧離子鍍模塊及其他沉積金屬及金屬化合物的物理氣相沉積模塊，所述的類金剛石薄膜沉積模塊包括等離子輔助化學氣相沉積碳粒子模塊及弧光電子流激發等離子體活化的等離子增強化學氣相沉積模塊及其他高能離化沉積的碳粒子源。