[實用新型]一種用于制備低羥基石英玻璃的真空爐

有效

• 申請號: 201820018499.2
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN207973666U
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 張國君;劉小舟;萬后本;王韜;吳成晨
• 申請（專利權）人: 湖北菲利華石英玻璃股份有限公司
• 主分類號: C03B5/06
• 分類號: C03B5/06;C03B5/225;C03B5/18;C03B5/235
• 代理公司: 荊州市亞德專利事務所(普通合伙) 42216
• 代理人: 李杰

本實用新型涉及一種用于制備低羥基石英玻璃的真空爐,屬石英玻璃熔制設備技術領域。該真空爐包括爐體、保溫室、石墨加熱器和石墨坩堝，爐體內通過固定板固裝有保溫室，保溫室內通過安裝件和石墨加熱器活動安裝有石墨坩堝。該真空爐采用底部加熱由下至上逐層化料的工作方式，爐腔為封閉的結構，加熱室內不含雜質，受熱良好，在爐內實現石英砂燒結、石英玻璃形成、石英玻璃澄清、石英玻璃的均化以及石英玻璃的冷卻過程。成型后的石英玻璃幾無肉眼可見氣泡和條紋、光學性能好、少析晶情況。有效提高了生產效率，降低了羥基含量。

技術領域

本實用新型涉及一種用于制備低羥基石英玻璃的真空爐,屬石英玻璃熔制設備技術領域。

背景技術

微電子、光電子、航天航空、激光及精密光學等高新技術產業是正在發展中的產業，是許多技術領域和產業的核心和催化劑，紫外光學石英玻璃是其關鍵性基礎材料，支撐著這些高新技術產業的發展，具有廣闊的發展前景。

石英玻璃中羥基（OH^-）含量對石英玻璃的品質影響很大，羥基（OH^-）在石英玻璃中由于使硅氧鏈斷裂、結構松弛，降低石英玻璃的高溫粘度，從而降低石英玻璃的耐溫性。隨著羥基（OH^-）含量增加，石英玻璃的粘度，密度，折射率減小，對一定波長的紅外光波強烈吸收，對一定波長的紫外光波也有一定的吸收，極大影響了石英玻璃的光學性能。現有的石英玻璃制備方法氣煉法、化學氣相沉積合成石英玻璃錠的光學均勻性達不到使用要求，羥基含量高，而且生產效率不高。

發明內容

本實用新型的目的在于：提供一種結構簡單，可有效提高生產效率，降低羥基含量的用于制備低羥基石英玻璃的真空爐。

本實用新型的技術方案是：

一種用于制備低羥基石英玻璃的真空爐；包括爐體、保溫室、石墨加熱器和石墨坩堝，其特征在于：爐體內通過固定板固裝有保溫室，保溫室內通過安裝件和石墨加熱器活動安裝有石墨坩堝。

所述的爐體由上爐蓋、中爐筒和爐底盤構成，上爐蓋與中爐筒之間固定連接，中爐筒與爐底盤之間活動密封貼合連接，上爐蓋的頂部安裝有紅外測溫管，紅外測溫管的一端與保溫室連通，紅外測溫管的另一端延伸至上爐蓋上方。

所述的紅外測溫管的一側的上爐蓋上設置有真空管，真空管與爐體內腔連通。

所述的上爐蓋、中爐筒和爐底盤分別為夾層體，上爐蓋、中爐筒和爐底盤上分別設置有冷卻進水管和出水管。

所述的中爐筒內壁上設置有環形的固定板，保溫室通過固定板固定安裝在中爐筒內。

所述的安裝件由支撐柱、安裝底板和保溫隔熱板構成，安裝底板上對稱設置有支撐柱，支撐柱上端安裝有石墨加熱器，石墨加熱器與安裝底板之間呈上下層疊狀設置有保溫隔熱板，安裝件通過支撐柱與爐底盤固定連接。

所述的爐底盤底部固裝有連接件；爐底盤通過連接件與升降裝置連接。

所述的安裝底板外側的爐底盤內壁上設置有環形支撐板，環形支撐板與保溫室活動接觸連接。

所述的石墨坩堝由支撐板、通氣板、內坩堝、外坩堝和均熱板構成，支撐板上固裝有外坩堝，外坩堝內通過隔離環套裝有內坩堝，內坩堝和外坩堝之間設置有隔熱層，外坩堝的頂部安裝有通氣板，內坩堝內的支撐板上通過墊高環安裝有均熱板。

本實用新型的有益效果在于：

該用于制備低羥基石英玻璃的真空爐采用底部加熱，由下至上逐層化料的工作方式，爐腔為封閉的結構，加熱室內不含雜質，受熱良好，在爐內實現石英砂燒結、石英玻璃形成、石英玻璃澄清、石英玻璃的均化以及石英玻璃的冷卻過程。成型后的石英玻璃OH基團含量低，無肉眼可見氣泡和條紋、光學性能好、少析晶情況。有效提高了生產效率，降低了羥基含量。

附圖說明