[實用新型]一種硅片插片用硅片緩沖裝置

有效

• 申請號: 201820010492.6
• 申請日: 2018-01-04
• 公開（公告）號: CN207719228U
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 張志康;吳洋洋;丁貴英
• 申請（專利權）人: 江西寶群電子科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種硅片插片用硅片緩沖裝置。在以前的插片過程中，沒有硅片緩沖裝置，使得硅片插入片籃時容易和片籃的內壁碰觸，造成崩片、劃片等情況，給硅片造成不可恢復的損害，大大降低了硅片的合格率，造成時間和財產的損失。本實用新型涉及一種硅片插片用硅片緩沖裝置，其中：插片機機架上一側安裝有硅片輸送帶，硅片輸送帶一側設有提升模組，提升模組固定于插片機機架上，提升模組由升降電機、絲桿傳動模組、提升平臺組成。本裝置采用增加硅片緩沖裝置的方式，使硅片插進片籃中先與緩沖裝置中的橡膠墊接觸，橡膠墊能很好的吸收硅片插入片籃時的動能，有效的保護了硅片，提高了硅片的合格率。

技術領域

本實用新型涉及硅片插片機技術領域，尤其是一種硅片插片用硅片緩沖裝置。

背景技術

硅片由分片機分片之后再由插片機插入片籃中，在以前的插片過程中，沒有硅片緩沖裝置，使得硅片插入片籃時容易和片籃的內壁碰觸，造成崩片、劃片等情況，給硅片造成不可恢復的損害，大大降低了硅片的合格率，造成時間和財產的損失，存在不足。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種硅片插片用硅片緩沖裝置，為克服上述的不足，采用增加硅片緩沖裝置的方式，使硅片插進片籃中先與緩沖裝置中的橡膠墊接觸，橡膠墊能很好的吸收硅片插入片籃時動能，待硅片的動能大部分釋放完后移開緩沖裝置，此時片籃對硅片所造成的損害就降低到了最小，硅片崩片和劃片情況也就減小了發生的概率，有效的保護了硅片，提高了硅片的合格率。

為了解決上述問題，本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種硅片插片用硅片緩沖裝置，包括插片機機架、硅片輸送帶、提升模組、升降電機、絲桿傳動模組、提升平臺、片籃、硅片緩沖模組；其中：插片機機架上一側安裝有硅片輸送帶，硅片輸送帶一側設有提升模組，提升模組固定于插片機機架上，提升模組由升降電機、絲桿傳動模組、提升平臺組成，升降電機與絲桿傳動模組同軸連接，絲桿傳動模組與提升平臺連接，片籃固定于提升平臺上，提升模組一側設有硅片緩沖模組，硅片緩沖模組安裝于插片機機架上。

一種硅片插片用硅片緩沖裝置，所述硅片緩沖模組包括支架、氣缸座、安裝板、緩沖墊支架、第一緩沖墊、連接板、限位塊、第二緩沖墊、滑軌、氣缸；其中：氣缸通過氣缸座固定于支架上，氣缸內的活塞桿與連接板一端連接，連接板另一端與安裝板連接，支架上設有滑軌，安裝板與滑軌活動連接，滑軌一端設有限位塊，限位塊固定于支架上，限位塊上安裝有第二緩沖墊，緩沖墊支架安裝于安裝板上，緩沖墊支架上安裝有第一緩沖墊。

一種硅片插片用硅片緩沖裝置，其中：所述第一緩沖墊表面與水平面成95度夾角。

本實用新型的優點在于：本裝置采用增加硅片緩沖裝置的方式，使硅片插進片籃中先與緩沖裝置中的橡膠墊接觸，橡膠墊能很好的吸收硅片插入片籃時的動能，待硅片的動能大部分釋放完后移開緩沖裝置，此時片籃對硅片所造成的損害就降低到了最小，硅片崩片和劃片情況也就減小了發生的概率，有效的保護了硅片，提高了硅片的合格率。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構示意圖。

圖2為本實用新型中的硅片緩沖模組結構示意圖。

附圖標記：插片機機架1、硅片輸送帶2、提升模組3、升降電機301、絲桿傳動模組302、提升平臺303、片籃4、硅片緩沖模組5、支架501、氣缸座502、安裝板503、緩沖墊支架504、第一緩沖墊505、連接板506、限位塊507、第二緩沖墊508、滑軌509、氣缸510。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。