[實用新型]一種硅片插片用硅片緩沖裝置

有效

• 申請號: 201820010492.6
• 申請日: 2018-01-04
• 公開（公告）號: CN207719228U
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 張志康;吳洋洋;丁貴英
• 申請（專利權）人: 江西寶群電子科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片插片用硅片緩沖裝置，包括插片機機架（1）、硅片輸送帶（2）、提升模組（3）、升降電機（301）、絲桿傳動模組（302）、提升平臺（303）、片籃（4）、硅片緩沖模組（5）；其特征在于：插片機機架（1）上一側安裝有硅片輸送帶（2），硅片輸送帶（2）一側設有提升模組（3），提升模組（3）固定于插片機機架（1）上，提升模組（3）由升降電機（301）、絲桿傳動模組（302）、提升平臺（303）組成，升降電機（301）與絲桿傳動模組（302）同軸連接，絲桿傳動模組（302）與提升平臺（303）連接，片籃（4）固定于提升平臺（303）上，提升模組（3）一側設有硅片緩沖模組（5），硅片緩沖模組（5）安裝于插片機機架（1）上。

2.根據權利要求1所述的一種硅片插片用硅片緩沖裝置，所述硅片緩沖模組（5）包括支架（501）、氣缸座（502）、安裝板（503）、緩沖墊支架（504）、第一緩沖墊（505）、連接板（506）、限位塊（507）、第二緩沖墊（508）、滑軌（509）、氣缸（510）；其特征在于：氣缸（510）通過氣缸座（502）固定于支架（501）上，氣缸（510）內的活塞桿與連接板（506）一端連接，連接板（506）另一端與安裝板（503）連接，支架（501）上設有滑軌（509），安裝板（503）與滑軌（509）活動連接，滑軌（509）一端設有限位塊（507），限位塊（507）固定于支架（501）上，限位塊（507）上安裝有第二緩沖墊（508），緩沖墊支架（504）安裝于安裝板（503）上，緩沖墊支架（504）上安裝有第一緩沖墊（505）。

3.根據權利要求2所述的一種硅片插片用硅片緩沖裝置，其特征在于：所述第一緩沖墊（505）表面與水平面成95度夾角。