[實用新型]一種陶瓷結構、下電極及干蝕刻機有效
| 申請號： | 201820007702.6 | 申請日： | 2018-01-03 |
| 公開（公告）號： | CN207743194U | 公開（公告）日： | 2018-08-17 |
| 發明（設計）人： | 孟益 | 申請（專利權）人： | 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 518108 廣東省深圳市寶安區石巖街道水田村民*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陶瓷板 下電極 干蝕刻機 陶瓷結構 卡槽 卡凸 本實用新型 貫通縫隙 等離子體 尖端放電效應 蝕刻 發生故障 配合設置 相鄰陶瓷 襯底板 蝕刻機 電極 卡接 停機 凸卡 配合 | ||
1.一種陶瓷結構，其特征在于，包括至少兩個陶瓷板，每個陶瓷板靠近相鄰陶瓷板的一側設置有卡槽以及卡凸，兩個相鄰的陶瓷板中，一個陶瓷板的卡凸卡接于另一個陶瓷板的卡槽內，兩個相鄰的陶瓷板通過卡槽與卡凸的配合互相卡接在一起。
2.根據權利要求1所述的陶瓷結構，其特征在于，所述卡槽與卡凸均通過對陶瓷板切割加工而成。
3.根據權利要求2所述的陶瓷結構，其特征在于，卡接在一起的兩個所述陶瓷板的板面呈一平面。
4.根據權利要求3所述的陶瓷結構，其特征在于，所述卡槽的深度開設方向與所述卡凸的凸起方向均垂直于所述陶瓷板。
5.根據權利要求4所述的陶瓷結構，其特征在于，所述卡槽的槽底為內凹的弧形槽底，所述卡凸的端部為外凸的弧形端頭，所述弧形槽底與所述弧形端頭配合設置。
6.根據權利要求4所述的陶瓷結構，其特征在于，所述卡槽的槽底設置有錐形槽，所述卡凸的端部設置有錐形凸頭，所述錐形槽與所述錐形凸頭配合設置。
7.根據權利要求6所述的陶瓷結構，其特征在于，所述卡槽槽底的所述錐形槽與所述卡凸端部的所述錐形凸頭成對設置，分別設置有多個。
8.根據權利要求1-7任一所述的陶瓷結構，其特征在于，所述陶瓷板的一側設置有多個所述卡槽以及多個所述卡凸，兩個相鄰的所述陶瓷板通過多個所述卡槽與多個所述卡凸的配合互相卡接在一起。
9.一種下電極，其特征在于，包括權利要求1-8任一所述的陶瓷結構。
10.一種干蝕刻機，其特征在于，包括權利要求9所述的下電極。
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