[實(shí)用新型]一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820006752.2
• 申請(qǐng)日: 2018-01-03
• 公開（公告）號(hào): CN208172496U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳伍軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32261
• 代理人: 韋宇昕

本實(shí)用新型公開了一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備，包括掩膜版臺(tái)面，所述掩膜版臺(tái)面的頂部固定安裝有六個(gè)固定銷，且掩膜版臺(tái)面的頂部放置有掩膜版，所述掩膜版與六個(gè)固定銷均相配合，且掩膜版臺(tái)面的一側(cè)固定安裝有豎直板，所述豎直板的頂部延伸至掩膜版臺(tái)面的上方，且豎直板靠近掩膜版臺(tái)面的一側(cè)頂部焊接有頂板，所述頂板的底部開設(shè)有第一安裝槽，且第一安裝槽內(nèi)安裝有第一推桿電機(jī)，所述第一推桿電機(jī)的輸出軸上焊接有橫板，且橫板的底部兩側(cè)均焊接有放置板，兩個(gè)放置板相互靠近的一側(cè)均開設(shè)有第二安裝槽。本實(shí)用新型通過移動(dòng)板和風(fēng)機(jī)，方便清除掩膜版上、下表面的灰塵，并通過彈簧和盛裝箱，方便在清除掩膜版時(shí)將掩膜版固定，提高掩膜版的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及掩膜版邊緣設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的掩膜版臺(tái)面上面只有四個(gè)固定銷，放置掩膜版時(shí)不能直接固定，要通過移動(dòng)才能到達(dá)正確位置，這樣掩膜版移動(dòng)的時(shí)候就會(huì)產(chǎn)生很多刮擦發(fā)生，造成制品露光不良，品質(zhì)問題，導(dǎo)致再作業(yè)的浪費(fèi)了時(shí)間，增加了成本，因此非常有必要在掩膜版臺(tái)面上面增加兩個(gè)固定銷，放置掩膜版時(shí)阻止了移動(dòng)的，并且必須通過垂直放置才可以使掩膜版放置在正確的位置，但是掩膜版容易沾染灰塵，在垂直放置的時(shí)候不方便灰塵的清除，影響后續(xù)操作，并且增加兩個(gè)固定銷后掩膜版的穩(wěn)定性不足，因此我們提出了一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備用于解決上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于背景技術(shù)存在的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備。

本實(shí)用新型提出的一種防止刮擦掩膜版邊緣設(shè)備，包括掩膜版臺(tái)面，所述掩膜版臺(tái)面的頂部固定安裝有六個(gè)固定銷，且掩膜版臺(tái)面的頂部放置有掩膜版，所述掩膜版與六個(gè)固定銷均相配合，且掩膜版臺(tái)面的一側(cè)固定安裝有豎直板，所述豎直板的頂部延伸至掩膜版臺(tái)面的上方，且豎直板靠近掩膜版臺(tái)面的一側(cè)頂部焊接有頂板，所述頂板的底部開設(shè)有第一安裝槽，且第一安裝槽內(nèi)安裝有第一推桿電機(jī)，所述第一推桿電機(jī)的輸出軸上焊接有橫板，且橫板的底部兩側(cè)均焊接有放置板，兩個(gè)放置板相互靠近的一側(cè)均開設(shè)有第二安裝槽，所述第二安裝槽內(nèi)安裝有第二推桿電機(jī)，且第二推桿電機(jī)的輸出軸上焊接有推動(dòng)板，所述橫板的底部焊接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板位于兩個(gè)放置板的同一側(cè)，且移動(dòng)板靠近放置板的一側(cè)固定安裝有兩個(gè)風(fēng)機(jī)，所述第二推桿電機(jī)位于兩個(gè)風(fēng)機(jī)之間，且掩膜版臺(tái)面的頂部固定安裝有固定板，所述固定板位于掩膜版的一側(cè)，且固定板靠近掩膜版的一側(cè)焊接有多個(gè)彈簧，多個(gè)彈簧的同一端焊接有同一個(gè)滑動(dòng)板，所述滑動(dòng)板靠近固定板的一側(cè)固定安裝有牽引繩，且固定板靠近滑動(dòng)板的一側(cè)開設(shè)有通孔，所述牽引繩遠(yuǎn)離滑動(dòng)板的一端貫穿通孔并固定安裝有浮塊，且掩膜版臺(tái)面的一側(cè)固定安裝有盛裝箱，所述盛裝箱內(nèi)盛裝有水，且浮塊漂浮于水面上。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)板位于掩膜版的一側(cè)，且滑動(dòng)板與掩膜版相配合。

優(yōu)選的，兩個(gè)推動(dòng)板對(duì)稱設(shè)置，且推動(dòng)板與掩膜版相配合。

優(yōu)選的，所述掩膜版的高度與兩個(gè)風(fēng)機(jī)之間的距離相等，且兩個(gè)風(fēng)機(jī)與掩膜版相配合。

優(yōu)選的，所述第一推桿電機(jī)的頂部焊接有第一安裝板，且第一推桿電機(jī)通過第一安裝板螺紋固定于第一安裝槽的頂部內(nèi)壁上。

優(yōu)選的，兩個(gè)第二推桿電機(jī)相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均焊接有第二安裝板，且第二推桿電機(jī)通過第二安裝板螺紋固定于第二安裝槽遠(yuǎn)離第二安裝槽開口的一側(cè)內(nèi)壁上。

優(yōu)選的，所述彈簧的數(shù)量為八到十個(gè)，且八到十個(gè)彈簧位于同一水平軸線上。

優(yōu)選的，所述掩膜版臺(tái)面的一側(cè)固定安裝有斜桿，且斜桿遠(yuǎn)離掩膜版臺(tái)面的一端安裝有滑輪組，所述斜桿位于盛裝箱的上方，且牽引繩與滑輪組滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)板的底部安裝有滑塊，且掩膜版臺(tái)面的頂部開設(shè)有滑槽，所述滑塊與滑槽滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述浮塊的重力比彈簧的彈力大，且移動(dòng)板與水相配合。