[實用新型]一種防止刮擦掩膜版邊緣設備

有效

• 申請號: 201820006752.2
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN208172496U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 吳伍軍
• 申請（專利權）人: 蘇州賽森電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業知識產權代理有限公司 32261
• 代理人: 韋宇昕

1.一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，包括掩膜版臺面(1)，其特征在于，所述掩膜版臺面(1)的頂部固定安裝有六個固定銷(2)，且掩膜版臺面(1)的頂部放置有掩膜版(3)，所述掩膜版(3)與六個固定銷(2)均相配合，且掩膜版臺面(1)的一側固定安裝有豎直板(4)，所述豎直板(4)的頂部延伸至掩膜版臺面(1)的上方，且豎直板(4)靠近掩膜版臺面(1)的一側頂部焊接有頂板(5)，所述頂板(5)的底部開設有第一安裝槽(6)，且第一安裝槽(6)內安裝有第一推桿電機(7)，所述第一推桿電機(7)的輸出軸上焊接有橫板(8)，且橫板(8)的底部兩側均焊接有放置板(9)，兩個放置板(9)相互靠近的一側均開設有第二安裝槽(10)，所述第二安裝槽(10)內安裝有第二推桿電機(11)，且第二推桿電機(11)的輸出軸上焊接有推動板(12)，所述橫板(8)的底部焊接有移動板(13)，所述移動板(13)位于兩個放置板(9)的同一側，且移動板(13)靠近放置板(9)的一側固定安裝有兩個風機(14)，所述第二推桿電機(11)位于兩個風機(14)之間，且掩膜版臺面(1)的頂部固定安裝有固定板(15)，所述固定板(15)位于掩膜版(3)的一側，且固定板(15)靠近掩膜版(3)的一側焊接有多個彈簧(16)，多個彈簧(16)的同一端焊接有同一個滑動板(17)，所述滑動板(17)靠近固定板(15)的一側固定安裝有牽引繩(18)，且固定板(15)靠近滑動板(17)的一側開設有通孔(19)，所述牽引繩(18)遠離滑動板(17)的一端貫穿通孔(19)并固定安裝有浮塊(20)，且掩膜版臺面(1)的一側固定安裝有盛裝箱(21)，所述盛裝箱(21)內盛裝有水，且浮塊(20)漂浮于水面上。

2.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述滑動板(17)位于掩膜版(3)的一側，且滑動板(17)與掩膜版(3)相配合。

3.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，兩個推動板(12)對稱設置，且推動板(12)與掩膜版(3)相配合。

4.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述掩膜版(3)的高度與兩個風機(14)之間的距離相等，且兩個風機(14)與掩膜版(3)相配合。

5.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述第一推桿電機(7)的頂部焊接有第一安裝板，且第一推桿電機(7)通過第一安裝板螺紋固定于第一安裝槽(6)的頂部內壁上。

6.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，兩個第二推桿電機(11)相互遠離的一側均焊接有第二安裝板，且第二推桿電機(11)通過第二安裝板螺紋固定于第二安裝槽(10)遠離第二安裝槽(10)開口的一側內壁上。

7.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述彈簧(16)的數量為八到十個，且八到十個彈簧(16)位于同一水平軸線上。

8.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述掩膜版臺面(1)的一側固定安裝有斜桿(22)，且斜桿(22)遠離掩膜版臺面(1)的一端安裝有滑輪組(23)，所述斜桿(22)位于盛裝箱(21)的上方，且牽引繩(18)與滑輪組(23)滑動連接。

9.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述滑動板(17)的底部安裝有滑塊(24)，且掩膜版臺面(1)的頂部開設有滑槽(25)，所述滑塊(24)與滑槽(25)滑動連接。

10.根據權利要求1所述的一種防止刮擦掩膜版邊緣設備，其特征在于，所述浮塊(20)的重力比彈簧(16)的彈力大，且移動板(13)與水相配合。