[發明專利]一種靶材除塵裝置

在審

• 申請號: 201811651718.1
• 申請日: 2018-12-31
• 公開（公告）號: CN109482578A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 肖吉軍;歐淑;張海濤
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 桂林市華杰專利商標事務所有限責任公司 45112
• 代理人: 覃永峰

本發明公開了一種靶材除塵裝置，包括旋轉底座、吹風口、吸塵網罩和罩殼，所述旋轉底座用于安放靶材；多個吹風口分別位于靶材的上端面上方和側面旁邊；從吹風口吹出的風向朝向靶材的上端面和側面；所述吸塵網罩涂布有不干膠，吸塵網罩將旋轉底座、靶材和吹風口罩在吸塵網罩內腔中；所述罩殼內壁涂布有不干膠，罩殼將吸塵網罩罩在罩殼內腔中。位于靶材上端面上方的吹風口吹出的氣流與靶材的上端面的夾角呈25°?35°。位于靶材側面旁邊的吹風口吹出的氣流與靶材的側面切線在水平方向上的夾角呈25°?35°。本除塵裝置可以滿足除塵工序的技術要求，具有除塵快速、除塵效率高、降低操作人員的用眼強度，除塵徹底的優點。

技術領域

本發明涉及靶材除塵領域，尤其是一種靶材除塵裝置。

背景技術

靶材生產過程的最后工序是人工除塵并封裝，一顆幾微米的灰塵就會直接導致芯片廢品，所以除塵工序是在無塵車間由工人戴放大鏡仔細檢查靶材，發現灰塵用筆狀細吹風筒吹掉灰塵。由于要求除塵小到微米級，所以除塵工人必須使用放大鏡，然而放大鏡視野很小，不但除塵效率極低，而且用小視野的放大鏡進行全部觀察是不可能、也就是無法保障徹底除塵。

發明內容

本發明的目的是針對上述情況，提供一種靶材除塵裝置，這種除塵裝置對5微米以上的灰塵顆粒消除效果優秀，可以滿足除塵工序的技術要求。

實現本發明目的的技術方案是：

一種靶材除塵裝置，包括

旋轉底座，所述旋轉底座用于安放靶材；

吹風口，多個吹風口分別位于靶材的上端面上方和側面旁邊；從吹風口吹出的風向朝向靶材的上端面和側面；

吸塵網罩，所述吸塵網罩涂布有不干膠，吸塵網罩將旋轉底座、靶材和吹風口罩在吸塵網罩內腔中；

罩殼，所述罩殼內壁涂布有不干膠，罩殼將吸塵網罩罩在罩殼內腔中。

進一步，位于靶材上端面上方的吹風口吹出的氣流與靶材的上端面的夾角呈25°-35°。

進一步，位于靶材側面旁邊的吹風口吹出的氣流與靶材的側面切線在水平方向上的夾角呈25°-35°。

進一步，所述不干膠為油性不干膠。

進一步，旋轉底座的轉動方向與吹風口吹出的風向相反。

進一步，旋轉底座的轉動速度為15-25轉/分鐘。

進一步，所述旋轉底座與電機連接。

進一步，所述吹風口通過吹風管道與鼓風機連接。

進一步，所述的吸塵網罩和罩殼呈圓柱體狀。

進一步，包括底座，所述旋轉底座設置在底座的上端面，所述底座上端面設有與吸塵網罩的下端口相適配的第一凹槽，所述吸塵網罩置于第一凹槽上，所述底座上端面設有與罩殼的下端口相適配的第二凹槽，所述罩殼置于第二凹槽上。

電機設置在底座內，與吹風口連通的吹風管道的一端設置在底座的上端面，吹風管道的另一端穿出底座外與鼓風機連通。

將靶材放入除塵裝置中的旋轉底座上，打開鼓風機，由吹風口出風，除塵2分鐘，再翻轉靶材，使原靶材的底面朝上，除塵2分鐘，即可完成除塵進行封裝。

本裝置是在一個封閉的圓柱體狀罩殼殼體內，引入切向氣流，形成與旋轉底座轉動方向相反的負壓旋轉氣流，即使氣流中的灰塵顆粒離心旋轉，在離心運動的灰塵顆粒接觸到吸塵網罩時有機會被吸附在不干膠上，如果未能吸附而穿過吸塵網罩則在撞擊罩殼內壁時將吸附于罩殼內壁的不干膠上，對于極少數未吸附的灰塵有機會被吸附于吸塵網罩的不干膠上，該結構吸附灰塵效率高，極大地降低了灰塵在裝置中飛行的時間長度。