[發(fā)明專利]一種靶材除塵裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811651718.1 | 申請日： | 2018-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN109482578A | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 肖吉軍;歐淑;張海濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 桂林電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | B08B5/02 | 分類號： | B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 桂林市華杰專利商標(biāo)事務(wù)所有限責(zé)任公司 45112 | 代理人： | 覃永峰 |
| 地址： | 541004 廣西*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 靶材 吹風(fēng)口 吸塵網(wǎng) 除塵裝置 旋轉(zhuǎn)底座 上端面 吹出 側(cè)面 不干膠 除塵 罩殼 切線 除塵工序 除塵效率 技術(shù)要求 罩殼內(nèi)壁 罩殼內(nèi)腔 上端 內(nèi)腔中 口罩 吹風(fēng) 風(fēng)向 | ||
1.一種靶材除塵裝置，其特征在于，包括
旋轉(zhuǎn)底座，所述旋轉(zhuǎn)底座用于安放靶材；
吹風(fēng)口，多個吹風(fēng)口分別位于靶材的上端面上方和側(cè)面旁邊；從吹風(fēng)口吹出的風(fēng)向朝向靶材的上端面和側(cè)面；
吸塵網(wǎng)罩，所述吸塵網(wǎng)罩涂布有不干膠，吸塵網(wǎng)罩將旋轉(zhuǎn)底座、靶材和吹風(fēng)口罩在吸塵網(wǎng)罩內(nèi)腔中；
罩殼，所述罩殼內(nèi)壁涂布有不干膠，罩殼將吸塵網(wǎng)罩罩在罩殼內(nèi)腔中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，位于靶材上端面上方的吹風(fēng)口吹出的氣流與靶材的上端面的夾角呈25°-35°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，位于靶材側(cè)面旁邊的吹風(fēng)口吹出的氣流與靶材的側(cè)面切線在水平方向上的夾角呈25°-35°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，所述不干膠為油性不干膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)底座的轉(zhuǎn)動方向與吹風(fēng)口吹出的風(fēng)向相反。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)底座的轉(zhuǎn)動速度為15-25轉(zhuǎn)/分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，所述的吸塵網(wǎng)罩和罩殼呈圓柱體狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材除塵裝置，其特征在于，包括底座，所述旋轉(zhuǎn)底座設(shè)置在底座的上端面，所述底座上端面設(shè)有與吸塵網(wǎng)罩的下端口相適配的第一凹槽，所述吸塵網(wǎng)罩置于第一凹槽上，所述底座上端面設(shè)有與罩殼的下端口相適配的第二凹槽，所述罩殼置于第二凹槽上。
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