[發明專利]一種太陽電池中多晶硅膜層的鈍化方法

在審

• 申請號: 201811642707.7
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN109713082A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 徐冠群;包健;張昕宇;金浩
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種太陽電池中多晶硅膜層的鈍化方法，包括以下步驟：

A)在多晶硅膜層的表面沉積一層掩膜，然后在所述掩膜的表面復合一層指柵線圖形的有機蠟，得到預處理的多晶硅膜層；

B)將預處理的多晶硅膜層先浸入第一HF溶液中，蝕刻沒有有機蠟保護區域的掩膜，再使用堿溶液將有機蠟清洗除去；

C)將除去有機蠟的多晶硅膜層浸入制絨堿液中，蝕刻沒有掩膜保護區域的多晶硅，再使用第二HF溶液將掩膜清洗除去，得到具有指柵線圖案的多晶硅膜層；

D)將所述具有指柵線圖案的多晶硅膜層依次進行鈍化、絲網印刷和燒結。

2.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述掩膜為氧化硅膜、氮化硅膜或氮氧化硅膜。

3.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述掩膜的厚度為60～160nm。

4.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述有機蠟的指柵線的線寬為100～300μm。

5.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述第一HF溶液的質量濃度為5～50％。

6.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述步驟B)中的堿溶液的質量濃度為0.1～10％。

7.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述步驟B)中的堿溶液包括堿和二乙二醇丁醚；所述堿為KOH和/或NaOH。

8.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述制絨堿液包括KOH和制絨添加劑。

9.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述制絨堿液的質量濃度為1～15％。

10.根據權利要求1所述的鈍化方法，其特征在于，所述第二HF溶液的質量濃度為0.1～10％。