[發(fā)明專利]全自動COG邦定機IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811632392.8 | 申請日: | 2018-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN109801860B | 公開(公告)日: | 2020-11-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李忠奎;鄒艷秋 | 申請(專利權(quán))人: | 大連益盛達智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 大連格智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21238 | 代理人: | 劉琦 |
| 地址: | 116600 遼寧省大連*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 全自動 cog 邦定機 ic 翻轉(zhuǎn) 機構(gòu) | ||
本發(fā)明公開了一種全自動COG邦定機IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu),包括翻轉(zhuǎn)部分和承載部分,翻轉(zhuǎn)部分采取了旋轉(zhuǎn)氣缸以及升降電機結(jié)合的方式,可實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)臺的翻轉(zhuǎn)及豎直方向的移動;承載部分采取了多電機、多導(dǎo)軌以及多滑塊組合的方式,可以實現(xiàn)承載臺的水平移動及旋轉(zhuǎn);因此,本發(fā)明機構(gòu)最終實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)臺和承載臺相對運動的三維移動及角度控制,因此能夠通過精確調(diào)節(jié)翻轉(zhuǎn)臺和承載臺的相對位置關(guān)系實現(xiàn)IC的精確翻轉(zhuǎn)和承接,相比現(xiàn)有技術(shù)能夠適應(yīng)更復(fù)雜的翻轉(zhuǎn)情況,避免了人工操作可能產(chǎn)生的誤差大及效率低等問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu),更具體地說,涉及一種全自動COG邦定機IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu)。
背景技術(shù)
隨著科技的不斷發(fā)展,人工智能的快速崛起,市場競爭力的逐漸加劇,而要想保證全自動COG邦定機在集成電路領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位,最重要的就要保證設(shè)備的精度和準確度。
現(xiàn)有技術(shù)的全自動COG邦定機適應(yīng)IC(芯片)上料方式比較單一,移動自由度小,不能適應(yīng)現(xiàn)有市場的需求,甚至?xí)霈F(xiàn)人工翻轉(zhuǎn)IC的情況,不僅浪費了人力,而且還浪費了大量時間,最主要的是影響了整臺設(shè)備的工作效率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種全自動COG邦定機IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu),以解決背景技術(shù)中提到的問題。
為了達到上述目的,本發(fā)明采取以下技術(shù)方案:
一種全自動COG邦定機IC翻轉(zhuǎn)機構(gòu),包括翻轉(zhuǎn)部分和承載部分;翻轉(zhuǎn)部分包括:
翻轉(zhuǎn)臺,翻轉(zhuǎn)臺固定于一個可驅(qū)動翻轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)氣缸,翻轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)動軸朝水平方向且與翻轉(zhuǎn)臺位于同一平面內(nèi);
升降電機,升降電機豎直連接于旋轉(zhuǎn)氣缸且可推動旋轉(zhuǎn)氣缸在豎直方向上移動;
承載部分包括水平放置的第一底板,第一底板上鋪設(shè)有第一導(dǎo)軌;第一導(dǎo)軌上設(shè)置有第一滑塊,第一滑塊上固定有平行于第一底板的第二底板,第二底板上鋪設(shè)有垂直于第一導(dǎo)軌的第二導(dǎo)軌,第二導(dǎo)軌上設(shè)置有第二滑塊,第二滑塊上固定有平行于第二底板的第三底板;
第一底板上固定有第一電機,第一電機的旋轉(zhuǎn)軸平行于第一導(dǎo)軌且可推動第二底板沿第一導(dǎo)軌移動;
第一底板上還鋪設(shè)有平行于第一導(dǎo)軌的第三導(dǎo)軌;第三導(dǎo)軌上設(shè)置有第三滑塊,第三滑塊上固定有第二電機,第二電機的旋轉(zhuǎn)軸平行于第二導(dǎo)軌且可推動第三底板在第二導(dǎo)軌上移動;
第三底板上設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸均沿豎直方向的同步輪和第三電機,同步輪和第三電機通過同步帶連接傳動;同步輪的頂部固定有平行于第三底板的承載臺,承載臺位于翻轉(zhuǎn)臺下方。
優(yōu)選的,翻轉(zhuǎn)臺和承載臺上均設(shè)置有真空吸氣孔。
優(yōu)選的,旋轉(zhuǎn)氣缸上安裝有調(diào)速閥。
優(yōu)選的,翻轉(zhuǎn)臺垂直且偏心地固定于一個圓形的旋轉(zhuǎn)板,旋轉(zhuǎn)氣缸通過力傳遞元件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動。
優(yōu)選的,第三底板上豎直固定有平行于第一導(dǎo)軌的支撐板,第二電機的旋轉(zhuǎn)軸固定于支撐板的中部。
本發(fā)明的優(yōu)點在于,采取了旋轉(zhuǎn)氣缸以及升降電機結(jié)合的方式,可實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)臺的翻轉(zhuǎn)與Z軸方向的移動;采取了第一電機、第二電機、第三電機以及各導(dǎo)軌、滑塊組合的方式,可可以實現(xiàn)承載臺的X、Y方向的移動及旋轉(zhuǎn),可見翻轉(zhuǎn)臺和承載臺是存在X、Y、Z以及旋轉(zhuǎn)四個自由度的,因此能夠通過精確調(diào)節(jié)翻轉(zhuǎn)臺和承載臺的相對位置關(guān)系實現(xiàn)IC的精確翻轉(zhuǎn)和承接,相比現(xiàn)有技術(shù)能夠適應(yīng)更復(fù)雜的翻轉(zhuǎn)情況,避免了人工操作可能產(chǎn)生的誤差大及效率低等問題。
附圖說明
圖1是本發(fā)明機構(gòu)立體圖;
圖2是本發(fā)明機構(gòu)第二底板部分示意圖。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





