[發明專利]全自動COG邦定機IC翻轉機構有效
| 申請號: | 201811632392.8 | 申請日: | 2018-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN109801860B | 公開(公告)日: | 2020-11-27 |
| 發明(設計)人: | 李忠奎;鄒艷秋 | 申請(專利權)人: | 大連益盛達智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 大連格智知識產權代理有限公司 21238 | 代理人: | 劉琦 |
| 地址: | 116600 遼寧省大連*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 全自動 cog 邦定機 ic 翻轉 機構 | ||
本發明公開了一種全自動COG邦定機IC翻轉機構,包括翻轉部分和承載部分,翻轉部分采取了旋轉氣缸以及升降電機結合的方式,可實現翻轉臺的翻轉及豎直方向的移動;承載部分采取了多電機、多導軌以及多滑塊組合的方式,可以實現承載臺的水平移動及旋轉;因此,本發明機構最終實現翻轉臺和承載臺相對運動的三維移動及角度控制,因此能夠通過精確調節翻轉臺和承載臺的相對位置關系實現IC的精確翻轉和承接,相比現有技術能夠適應更復雜的翻轉情況,避免了人工操作可能產生的誤差大及效率低等問題。
技術領域
本發明涉及一種IC翻轉機構,更具體地說,涉及一種全自動COG邦定機IC翻轉機構。
背景技術
隨著科技的不斷發展,人工智能的快速崛起,市場競爭力的逐漸加劇,而要想保證全自動COG邦定機在集成電路領域處于領先地位,最重要的就要保證設備的精度和準確度。
現有技術的全自動COG邦定機適應IC(芯片)上料方式比較單一,移動自由度小,不能適應現有市場的需求,甚至會出現人工翻轉IC的情況,不僅浪費了人力,而且還浪費了大量時間,最主要的是影響了整臺設備的工作效率。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種全自動COG邦定機IC翻轉機構,以解決背景技術中提到的問題。
為了達到上述目的,本發明采取以下技術方案:
一種全自動COG邦定機IC翻轉機構,包括翻轉部分和承載部分;翻轉部分包括:
翻轉臺,翻轉臺固定于一個可驅動翻轉臺轉動的旋轉氣缸,翻轉臺的轉動軸朝水平方向且與翻轉臺位于同一平面內;
升降電機,升降電機豎直連接于旋轉氣缸且可推動旋轉氣缸在豎直方向上移動;
承載部分包括水平放置的第一底板,第一底板上鋪設有第一導軌;第一導軌上設置有第一滑塊,第一滑塊上固定有平行于第一底板的第二底板,第二底板上鋪設有垂直于第一導軌的第二導軌,第二導軌上設置有第二滑塊,第二滑塊上固定有平行于第二底板的第三底板;
第一底板上固定有第一電機,第一電機的旋轉軸平行于第一導軌且可推動第二底板沿第一導軌移動;
第一底板上還鋪設有平行于第一導軌的第三導軌;第三導軌上設置有第三滑塊,第三滑塊上固定有第二電機,第二電機的旋轉軸平行于第二導軌且可推動第三底板在第二導軌上移動;
第三底板上設置有轉動軸均沿豎直方向的同步輪和第三電機,同步輪和第三電機通過同步帶連接傳動;同步輪的頂部固定有平行于第三底板的承載臺,承載臺位于翻轉臺下方。
優選的,翻轉臺和承載臺上均設置有真空吸氣孔。
優選的,旋轉氣缸上安裝有調速閥。
優選的,翻轉臺垂直且偏心地固定于一個圓形的旋轉板,旋轉氣缸通過力傳遞元件驅動旋轉板轉動。
優選的,第三底板上豎直固定有平行于第一導軌的支撐板,第二電機的旋轉軸固定于支撐板的中部。
本發明的優點在于,采取了旋轉氣缸以及升降電機結合的方式,可實現翻轉臺的翻轉與Z軸方向的移動;采取了第一電機、第二電機、第三電機以及各導軌、滑塊組合的方式,可可以實現承載臺的X、Y方向的移動及旋轉,可見翻轉臺和承載臺是存在X、Y、Z以及旋轉四個自由度的,因此能夠通過精確調節翻轉臺和承載臺的相對位置關系實現IC的精確翻轉和承接,相比現有技術能夠適應更復雜的翻轉情況,避免了人工操作可能產生的誤差大及效率低等問題。
附圖說明
圖1是本發明機構立體圖;
圖2是本發明機構第二底板部分示意圖。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





