[發明專利]一種晶圓覆膜裝置

有效

• 申請號: 201811627416.0
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109659269B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 黃曉波;趙凡奎
• 申請（專利權）人: 安徽龍芯微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217
• 代理人: 成艷

1.一種晶圓覆膜裝置，包括底箱，底箱側壁上設置有送料孔，底箱上設置有用于放置晶圓的放置槽，放置槽外與其同心設置有環形的切割孔，底箱一側鉸接有蓋體，其特征在于：還包括包邊機構，所述蓋體上豎直滑動設置有圓筒形的切刀，切刀能夠驅動包邊機構，切刀與蓋體之間設置有切割彈簧，蓋體內側設置有圓柱形的壓柱；所述包邊機構包括設置在所述放置槽槽底的吸氣孔，吸氣孔連通有吸氣通道，吸氣通道設置在所述底箱內，吸氣通道連通有吸氣機構；所述吸氣機構包括設置在底箱內的負壓腔，負壓腔與所述吸氣通道連通，負壓腔內滑動設置有活塞，底箱底部設置有可與切刀相抵的底板，底板與底箱之間連接有負壓彈簧，底板兩端延伸至切割孔下方，底板與所述活塞連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓覆膜裝置，其特征在于：所述負壓腔連通有圓臺狀的出氣連接管，出氣連接管的小徑端與負壓腔連通，出氣連接管的大徑端連通有出氣管，出氣連接管內滑動設置有用于密封出氣連接管的密封板，密封板與出氣連接管的小徑端之間連接有彈力繩；吸氣通道與負壓腔之間連通有進氣連接管，進氣連接管的結構與出氣連接管的結構相同，進氣連接管的大徑端和小徑端分別與負壓腔和吸氣通道連通。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓覆膜裝置，其特征在于：所述壓柱外滑動套設有包邊筒，包邊筒與所述壓柱之間連接有復位彈簧，所述切刀內側設置有用于驅動包邊筒移動的推板。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓覆膜裝置，其特征在于：所述包邊筒的底面與側面之間導有圓角。