[發明專利]發光二極管的外延片生長裝置

有效

• 申請號: 201811625806.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109536931B
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 王國行;劉華明;胡加輝;李鵬
• 申請（專利權）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 徐立

本發明公開了一種發光二極管的外延片生長裝置。該生長裝置包括氣源、真空發生器、反應室、開關閥和排氣閥，氣源與開關閥的進氣口連通，開關閥的出氣口與真空發生器的進氣口連通，真空發生器的抽氣口與排氣閥的出氣口連通，排氣閥的進氣口與反應室連通。在開關閥和排氣閥都開啟時，通過氣源向真空發生器的進氣口提供氣流，真空發生器的抽氣口氣壓降低，反應室內的氣體被抽出，隨同氣流噴出真空發生器的出氣口，這樣就可以降低反應室內的氣壓，使反應室內形成負壓，在達到所要求的壓力時，關閉排氣閥，反應室內的氣壓維持在恒定狀態，同時可以關閉開關閥，停止向真空發生器提供氣流，這樣不需要繼續提供能量來維持反應室的負壓環境，節省了能源。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種發光二極管的外延片生長裝置。

背景技術

LED(Light Emitting Diode，發光二極管)具有體積小、壽命長、功耗低等優點，目前被廣泛應用于汽車信號燈、交通信號燈、顯示屏以及照明設備。

在制作LED時，需要先制作出外延片，然后將外延片制作成LED芯片。外延片的制作通常在MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition金屬有機化合物化學氣相沉淀)設備中進行。外延片的制作需要負壓環境，目前通常是采用真空泵形成負壓環境。真空泵在工作時需要連續不斷的運行才可以維持負壓環境，需要消耗大量的能源。

發明內容

本發明實施例提供了一種發光二極管的外延片生長裝置，能夠降低維持負壓環境的能耗。所述技術方案如下：

本發明實施例提供了一種發光二極管的外延片生長裝置，包括氣源、真空發生器、反應室、開關閥和排氣閥，所述氣源與所述開關閥的進氣口連通，所述開關閥的出氣口與所述真空發生器的進氣口連通，所述真空發生器的抽氣口與所述排氣閥的出氣口連通，所述排氣閥的進氣口與所述反應室連通。

可選地，所述生長裝置還包括控制器，所述控制器與所述開關閥連通，所述控制器用于當所述反應室內的壓力上升到第一預設閾值時控制所述開關閥導通，當所述反應室內的壓力下降到第二預設閾值時控制所述開關閥關閉，所述第二預設閾值不大于所述第一預設閾值。

可選地，所述控制器還與所述排氣閥連通，所述控制器用于當所述反應室內的壓力上升到所述第一預設閾值時控制所述排氣閥導通，當所述反應室內的壓力下降到所述第二預設閾值時控制所述排氣閥關閉。

可選地，所述控制器用于在所述開關閥導通第一預設時長后控制所述排氣閥導通。

可選地，所述控制器用于在所述排氣閥關閉第二預設時長后控制所述開關閥關閉。

可選地，所述排氣閥為單向閥。

可選地，所述反應室連通有第一壓力表。

可選地，所述氣源與所述開關閥之間連接有第二壓力表。

可選地，所述生長裝置還包括廢氣回收罐，所述廢氣回收罐與所述真空發生器的出氣口連通。

可選地，所述開關閥和所述排氣閥均為電磁閥或氣動閥。

本發明實施例提供的技術方案帶來的有益效果至少包括：通過設置氣源、真空發生器、反應室、開關閥和排氣閥，將氣源與開關閥的進氣口連通，開關閥的出氣口與真空發生器的進氣口連通，真空發生器的抽氣口與排氣閥的出氣口連通，排氣閥的進氣口與反應室連通，這樣在開關閥和排氣閥都開啟時，通過氣源向真空發生器的進氣口提供氣流，會使得真空發生器的抽氣口氣壓降低，反應室內的氣體會被抽出，隨同氣流一起噴出真空發生器的出氣口，這樣就可以降低反應室內的氣壓，使反應室內形成負壓，在達到所要求的壓力時，關閉排氣閥，反應室內的氣壓維持在恒定狀態，同時可以關閉開關閥，停止向真空發生器提供氣流，這樣不需要繼續提供能量來維持反應室的負壓環境，節省了能源。

附圖說明