[發明專利]發光二極管的外延片生長裝置

有效

• 申請號: 201811625806.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109536931B
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 王國行;劉華明;胡加輝;李鵬
• 申請（專利權）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 徐立

1.一種發光二極管的外延片生長裝置，其特征在于，包括氣源(10)、真空發生器(20)、反應室(30)、開關閥(40)、排氣閥(50)和控制器(60)，所述開關閥(40)和所述排氣閥(50)均為氣動閥，且均采用所述氣源(10)為驅動動力，所述氣源(10)與所述開關閥(40)的進氣口連通，所述開關閥(40)的出氣口與所述真空發生器(20)的進氣口連通，所述真空發生器(20)的抽氣口與所述排氣閥(50)的出氣口連通，所述排氣閥(50)的進氣口與所述反應室(30)連通，所述控制器(60)與所述開關閥(40)和所述排氣閥(50)連通；

所述控制器(60)用于當所述反應室(30)內的壓力上升到第一預設閾值時控制所述開關閥(40)導通，在所述開關閥(40)導通0.1s～1s后控制所述排氣閥(50)導通；

當所述反應室(30)內的壓力下降到第二預設閾值時，控制所述排氣閥(50)關閉，在所述排氣閥(50)關閉0.1s～1s后控制所述開關閥(40)關閉，所述第二預設閾值小于所述第一預設閾值。

2.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，所述反應室(30)連通有第一壓力表(70)。

3.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，所述氣源(10)與所述開關閥(40)之間連接有第二壓力表(80)。

4.根據權利要求1所述的生長裝置，其特征在于，所述生長裝置還包括廢氣回收罐(90)，所述廢氣回收罐(90)與所述真空發生器(20)的出氣口連通。