[發(fā)明專利]基板工藝的微波干燥裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811625051.8
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN111380349A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇勝義;喬鴻培;呂理榕;巫坤星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)博科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F26B15/12
• 分類號(hào): F26B15/12;F26B3/347;F26B25/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王馨儀

本發(fā)明公開一種基板工藝的微波干燥裝置，包括一微波腔體、貫穿該微波腔體的一輸送平臺(tái)、以及設(shè)置在該微波腔體中的至少一微波產(chǎn)生器與至少一排氣組，借該輸送平臺(tái)將待干燥的基板送入并移出該微波腔體。該微波產(chǎn)生器所發(fā)出的微波能直接針對(duì)該基板上的液體中的水分子進(jìn)行加熱，以無死角地令蓄積在該基板的穿孔或盲孔中的液體升溫并蒸散，再利用該至少一排氣組來抽取并排出從該基板蒸散的濕氣，從而達(dá)到干燥該基板的目的。再者，因?yàn)槲⒉ㄖ粫?huì)對(duì)液體進(jìn)行加熱，不會(huì)將能量用于使該基板升溫，故干燥的效率高，可有效節(jié)約電力、節(jié)省該基板的加工成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種干燥裝置，尤指一種在基板加工工藝中，用來除去基板上的液體的微波干燥裝置。

背景技術(shù)

基板在以化學(xué)藥液進(jìn)行蝕刻而于其上呈現(xiàn)出銅箔的線路后，接著必須利用揮發(fā)性液體(例如：異丙醇)或非揮發(fā)性液體(例如：純水)來洗凈基板上的化學(xué)藥液，再將洗凈后的基板進(jìn)行干燥，以便進(jìn)行下一步的加工。

其中一種現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)基板進(jìn)行干燥的干燥裝置，是在一用以輸送基板的輸送平臺(tái)的上方裝設(shè)多個(gè)噴氣管，或同時(shí)在該輸送平臺(tái)的上方及下方裝設(shè)多個(gè)噴氣管，該些噴氣管經(jīng)由管路連接一鼓風(fēng)機(jī)，利用該鼓風(fēng)機(jī)所提供的高溫、高壓氣體對(duì)該待干燥的基板進(jìn)行吹氣，而從該噴氣管吹出的高溫、高壓氣體除了可以直接吹除該基板上的液體之外，還可讓該液體升溫后進(jìn)一步蒸發(fā)。

然而，隨著電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，各式電子裝置除了功能愈趨多樣化與復(fù)雜化之外，外型亦皆朝輕、薄、短、小的方向發(fā)展，該些電子裝置中的基板亦相應(yīng)地朝小型化、薄型化演進(jìn)，該基板上的電路不斷細(xì)微化，該基板上供各式電子元件插接的穿孔及盲孔的孔徑也越來越小。如此一來，該從噴氣管吹出的高壓氣體難以進(jìn)入該小孔徑的穿孔及盲孔中吹除液體，而蓄積在該穿孔及盲孔中的液體將造成該基板上的細(xì)微化的電路氧化、損壞。除此之外，該鼓風(fēng)機(jī)所提供的氣體中還可能會(huì)參雜塵粒，該塵粒也會(huì)對(duì)該細(xì)微化的電路造成破壞。

再者，為了維持該現(xiàn)有技術(shù)的干燥裝置內(nèi)的溫度，讓該基板上的液體可因?yàn)樯郎囟舭l(fā)，該鼓風(fēng)機(jī)必須不斷地供應(yīng)高溫氣體，如此不但導(dǎo)致耗費(fèi)能量的問題，還使得該干燥裝置周圍持續(xù)維持在高溫狀態(tài)，形成對(duì)工作人員來說極度不舒適的工作環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于前述現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本發(fā)明的創(chuàng)作目的在于提供一種基板工藝的微波干燥裝置，其借由微波加熱來蒸散基板上的液體，以達(dá)到除去該基板上的液體、使該基板干燥的目的。

為了達(dá)到上述的創(chuàng)作目的，本發(fā)明采用的技術(shù)手段是令一基板工藝的微波干燥裝置包括：

一微波腔體，其利用能屏蔽微波的金屬材質(zhì)所制作而成，該微波腔體的內(nèi)部形成一微波作用腔，該微波腔體的一前端處形成有一前開口，該微波腔體的一后端處形成有一后開口；

一輸送平臺(tái)，其貫穿該微波腔體的前開口與后開口，且具有一輸送方向；

至少一微波產(chǎn)生器，其設(shè)于該微波腔體的微波作用腔內(nèi)，并能發(fā)射微波。

上述基板工藝的微波干燥裝置能進(jìn)一步包括至少一排氣組，至少一排氣組設(shè)于該微波腔體的微波作用腔內(nèi)，每一排氣組配置在該輸送平臺(tái)的一旁側(cè)且包含至少一抽氣件，每一抽氣件具有朝向該輸送平臺(tái)的一進(jìn)氣口。

上述每一排氣組的至少一抽氣件能包含了多個(gè)抽氣件，該些抽氣件沿該輸送平臺(tái)的輸送方向間隔排列設(shè)置。

上述每一排氣組的至少一抽氣件能包含一個(gè)抽氣件，該抽氣件朝該微波腔體的前端與后端延伸設(shè)置。

上述至少一排氣組能包含二排氣組，該二排氣組分別配置在該輸送平臺(tái)的兩相對(duì)旁側(cè)。

上述至少一微波產(chǎn)生器能包含了多個(gè)微波發(fā)射器，該些微波發(fā)射器沿該輸送平臺(tái)的輸送方向間隔排列設(shè)置或垂直該輸送平臺(tái)的輸送方向間隔排列設(shè)置。