[發(fā)明專利]基板工藝的微波干燥裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811625051.8
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN111380349A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘇勝義;喬鴻培;呂理榕;巫坤星
• 申請（專利權(quán)）人: 揚博科技股份有限公司
• 主分類號: F26B15/12
• 分類號: F26B15/12;F26B3/347;F26B25/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王馨儀

1.一種基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，其包括一微波腔體、一輸送平臺與至少一微波產(chǎn)生器，其中：

該微波腔體利用能屏蔽微波的金屬材質(zhì)所制作而成，該微波腔體的內(nèi)部形成一微波作用腔，該微波腔體的一前端處形成有一前開口，該微波腔體的一后端處形成有一后開口；

該輸送平臺貫穿該微波腔體的該前開口與該后開口，且具有一輸送方向；

該至少一微波產(chǎn)生器設(shè)于該微波腔體的該微波作用腔內(nèi)，并能發(fā)射微波。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，其進一步包括至少一排氣組，該至少一排氣組設(shè)于該微波腔體的該微波作用腔內(nèi)，每一該排氣組配置在該輸送平臺的一旁側(cè)且包含至少一抽氣件，每一該抽氣件具有朝向該輸送平臺的一進氣口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述每一該排氣組的該至少一抽氣件包含了多個抽氣件，該抽氣件沿該輸送平臺的該輸送方向間隔排列設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述每一該排氣組的該至少一抽氣件包含一個抽氣件，該抽氣件朝該微波腔體的該前端與該后端延伸設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述至少一排氣組包含二排氣組，該二排氣組分別配置在該輸送平臺的兩相對旁側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述至少一微波產(chǎn)生器包含了多個微波發(fā)射器，該微波發(fā)射器沿該輸送平臺的該輸送方向間隔排列設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述至少一微波產(chǎn)生器包含了多個微波發(fā)射器，該微波發(fā)射器垂直該輸送平臺的該輸送方向間隔排列設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的基板工藝的微波干燥裝置，其特征在于，所述輸送平臺上架設(shè)多根輸送輪軸，該輸送輪軸沿該輸送平臺的該輸送方向間隔排列設(shè)置，且每一該輸送輪軸的轉(zhuǎn)動軸垂直該輸送平臺的該輸送方向延伸。