[發(fā)明專利]一種多層背電極、薄膜太陽(yáng)能電池及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811624601.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109768094A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李新連;郭邐達(dá);楊立紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/0224
• 分類號(hào): H01L31/0224;H01L31/0749;H01L31/18
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 陳超

1.一種多層背電極的制備方法，其特征在于，包括：

在基底的一側(cè)表面鍍制第一鉬層，鍍制過(guò)程中控制氣壓由第一氣壓值連續(xù)下降至第二氣壓值；

在所述第一鉬層的表面鍍制第二鉬層，鍍制過(guò)程中控制氣壓保持在第二氣壓值；

在所述第二鉬層的表面鍍制第三鉬層，鍍制過(guò)程中控制氣壓由第二氣壓值連續(xù)升高至第三氣壓值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，

所述第一氣壓值的范圍為1.0-3.0Pa；和/或

所述第二氣壓值的范圍為0.05-0.5Pa；和/或

所述第三氣壓值的范圍為0.5-3.0Pa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，

所述第一鉬層的厚度范圍為10-300nm；和/或

所述第二鉬層的厚度范圍為100-500nm；和/或

所述第三鉬層的厚度范圍為0-200nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，

所述第一鉬層、所述第二鉬層和所述第三鉬層采用磁控濺射法鍍制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述在基底的一側(cè)表面鍍制第一鉬層的步驟之前，還包括：

清洗所述基底；

控制本底真空度至低于預(yù)設(shè)真空度；

對(duì)所述基底進(jìn)行加熱烘烤，去除水汽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，

所述預(yù)設(shè)真空度為5.0E-4Pa。

7.一種多層背電極，其特征在于，采用權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的制備方法制備得到，包括：依次層疊設(shè)置的第一鉬層(2)、第二鉬層(3)和第三鉬層(4)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層背電極，其特征在于，

所述第一鉬層(2)的厚度范圍為10-300nm；和/或

所述第二鉬層(3)的厚度范圍為100-500nm；和/或

所述第三鉬層(4)的厚度范圍為0-200nm。

9.一種薄膜太陽(yáng)能電池，其特征在于，包括權(quán)利要求7或8所述的多層背電極，還包括：

依次層疊設(shè)置在所述多層背電極的第三鉬層(4)側(cè)的吸收層、硫化鎘層、氧化鋅層、氧化鋅鋁層和柵電極。

10.一種薄膜太陽(yáng)能電池的制備方法，其特征在于，包括：

采用權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的制備方法制備得到多層背電極。