[發明專利]晶圓用覆膜裝置

有效

• 申請號: 201811624489.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109727904B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 黃曉波;羅云紅
• 申請（專利權）人: 安徽龍芯微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217
• 代理人: 成艷

1.晶圓用覆膜裝置，其特征在于：包括機架和覆膜底座，所述覆膜底座上設有用于固定待覆膜晶圓的固定槽，固定槽的外圍設有一圈與固定槽同心設置的環形槽；覆膜底座的上方設有覆膜機構，所述覆膜機構包括中部的伸縮套筒，伸縮套筒的頂部設有水囊，伸縮套筒的底部設有滴水孔，伸縮套筒上鉸接有多個可沿晶圓中部徑向滑動的擠壓組件，擠壓組件與伸縮套筒之間活動連接有限位驅動件；所述伸縮套筒包括轉動連接在機架上的第一套筒，第一套筒內滑動連接有第二套筒，第二套筒的底部固接有密封板，所述密封板的底端中部設有彈性塊，密封板與第一套筒之間固接有支撐彈簧；所述擠壓組件包括多個鉸接在第一套筒外壁的擠壓桿，擠壓桿的底端均活動連接有擠壓塊，擠壓塊內均設有開口槽，開口槽內均設有電動伸縮桿，電動伸縮桿的端部固接有切割刀。

2.根據權利要求1所述的晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述限位驅動件包括轉動連接在擠壓桿上的第一套管，第一套管內滑動連接有第二套管，第二套管遠離第一套管的一端轉動連接在第二套筒的外壁上，第一套管的底部內側設有用于驅動電動伸縮桿伸縮的控制開關，第二套管的頂部外緣固接有可按壓控制開關的限位塊。

3.根據權利要求2所述的晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述擠壓塊設有開口槽的側壁設有斜面。

4.根據權利要求3所述的晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述覆膜底座的下方設有集水箱，所述環形槽上設有多個漏水孔，漏水孔與集水箱之間連通有導管。

5.根據權利要求4所述的晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述覆膜底座的一側設有轉動連接在機架上的輥軸，輥軸上可拆卸連接有薄膜卷，覆膜底座上設有用于拉動薄膜的送料機構。

6.根據權利要求5所述的晶圓用覆膜裝置，其特征在于：所述送料機構包括設置在覆膜底座兩側部上的兩個傳送帶，傳送帶上均固接有多個固定塊，兩個傳送帶的固定塊之間固接有間歇與薄膜接觸的粘接桿。