[發明專利]一種肖特基二極管及整流電路

在審

• 申請號: 201811620030.7
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109713047A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 薛磊;李雯
• 申請（專利權）人: 西安科銳盛創新科技有限公司
• 主分類號: H01L29/872
• 分類號: H01L29/872;H01L29/165;H01L29/06
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長春

本發明涉及一種肖特基二級管及整流電路，肖特基二級管包括：Si襯底(001)、N型Si_1?xGe_x層(004)、第一N型壓應變Ge層(011)、第二N型壓應變Ge層(007)、鋁Al金屬層(008)和鎢W金屬層(010)，其中，所述N型Si_1?xGe_x層(004)設置在所述Si襯底(001)的表面；所述第一N型壓應變Ge層(011)設置在所述N型Si_1?xGe_x層(004)的表面；所述第二N型壓應變Ge層(007)內嵌在所述第一N型壓應變Ge層(011)中；所述鋁Al金屬層(008)設置在所述第二N型壓應變Ge層(007)的表面上；所述鎢W金屬層(010)設置在所述第一N型壓應變Ge層(011)的表面的預設的肖特基接觸指定區域內。應用本發明實施例可以提高肖特基二極管的電子遷移率。

技術領域

本發明屬于集成電路技術領域，具體涉及一種肖特基二級管及整流電路。

背景技術

無線能量傳輸系統(Wireless Power Transfer，WPT)可以突破傳統傳輸線的限制，使得輸送電能無需依靠輸電線，尤其適用特殊場景，比如，對危險場景下的機器人充電，或者對人體內的人造器官充電等。具體的，以電磁波作為輸入能量的WPT稱為微波無線能量傳輸系統(Microwave Power Transfer，MPT)。WPT發射端可以將直流電轉化為電磁波發射出去，再由WPT接收端將接收到的電磁波轉化為直流電，從而實現電能的輸送。其中，轉換效率是指WPT將電磁波轉化為直流電的效率，是評價WPT性能優劣的關鍵指標。整流天線是WPT接收端的關鍵部件，而整流二極管是整流電路的核心器件，因此，整流二極管的性能可以決定WPT的最大轉換效率。

目前，可以使用Ge材料制備的肖特基二極管作為整流二極管。但是，肖特基二極管的電子遷移率還有待提高。

發明內容

為了解決現有技術中存在的上述問題，本發明提供了一種肖特基二級管及整流電路。本發明要解決的技術問題通過以下技術方案實現：

本發明實施例提供了一種肖特基二級管，包括：

包括：Si襯底001、N型Si_1-xGe_x層004、第一N型壓應變Ge層011、第二N型壓應變Ge層007、鋁Al金屬層008和鎢W金屬層010；

所述N型Si_1-xGe_x層004設置在所述Si襯底001的表面；

所述第一N型壓應變Ge層011設置在所述N型Si_1-xGe_x層004的表面；

所述第二N型壓應變Ge層007內嵌在所述第一N型壓應變Ge層011中；

所述鋁Al金屬層008設置在所述第二N型壓應變Ge層007的表面上；

所述鎢W金屬層010設置在所述第一N型壓應變Ge層011的表面的預設的肖特基接觸指定區域內。

在本發明的一個實施例中，所述Si襯底001為厚度為300～400μm的N型單晶Si襯底。

在本發明的一個實施例中，所述N型Si_1-xGe_x層004的厚度為300～400nm，摻雜濃度為1.8～2×10¹⁶cm^-2，其中，x>0.8。

在本發明的一個實施例中，所述第一N型壓應變Ge層011的厚度為900～1000nm，摻雜濃度為1.8×10¹⁴～2×10¹⁴cm^-2。