[發明專利]固定底座及包括其的濺射靶材車床

在審

• 申請號: 201811618412.6
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN111376060A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;王利江
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23Q1/01
• 分類號: B23Q1/01;B23Q11/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

本發明提供一種固定底座，包括：底座本體；以及固定部，其從所述底座本體的前側平行于所述底座本體的頂側向外延伸；其中，所述底座本體包括位于所述底座本體的頂側的第一進入孔、位于所述底座本體的前側的第一排出孔以及連通所述第一進入孔和所述第一排出孔的第一通道；其中，所述底座本體包括位于所述底座本體的頂側的第二進入孔、位于所述底座本體的前側的第二排出孔以及連通所述第二進入孔和所述第二排出孔的第二通道。本發明還提供一種包括所述固定底座的濺射靶材車床。

技術領域

本發明涉及半導體濺射靶材領域，具體涉及一種固定底座以及包括所述固定底座的濺射靶材車床。

背景技術

在濺射靶材的機械加工過程中，需要噴射霧化酒精對濺射靶材進行冷卻。傳統的濺射靶材車床上只安裝一個酒精噴射裝置，但是車床刀庫有十個工位，每次換刀后都需要人工調節酒精噴射裝置的噴射位置，無法實現自動化生產，操作費時又費力。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種固定底座，用于在每個工位上都安裝一個酒精混配裝置，事先可調整好位置，這樣每次換刀后不需要人工調節，從而可實現自動化生產。

為此，本發明提供一種固定底座，包括：底座本體；以及固定部，其從所述底座本體的前側平行于所述底座本體的頂側向外延伸；

其中，所述底座本體包括位于所述底座本體的頂側的第一進入孔、位于所述底座本體的前側的第一排出孔以及連通所述第一進入孔和所述第一排出孔的第一通道；以及

所述底座本體還包括位于所述底座本體的頂側的第二進入孔、位于所述底座本體的前側的第二排出孔以及連通所述第二進入孔和所述第二排出孔的第二通道。

可選地，所述固定底座用于將酒精混配裝置安裝到濺射靶材車床上，其中所述酒精混配裝置固定到所述固定底座的固定部，所述底座本體固定到濺射靶材車床上。

可選地，所述固定部設有至少一個螺紋孔。

可選地，所述第一進入孔和所述第二進入孔處分別設有過濾網。

可選地，所述第一進入孔和所述第二進入孔處分別設有用于固定所述過濾網的固定板，所述固定板具有與所述第一進入孔和所述第二進入孔連通的通孔。

可選地，所述底座本體設有至少一個固定凸耳，所述固定凸耳設有螺紋孔。

可選地，所述第一通道為L形，所述底座本體設有與所述第一通道的拐角處連通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵頭螺絲。

可選地，所述第二通道為L形，所述底座本體設有與所述第二通道的拐角處連通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵頭螺絲。

可選地，所述第一進入孔的直徑大于所述第一通道的直徑，所述第一排出孔的直徑大于所述第一通道的直徑。

可選地，所述第二進入孔的直徑大于所述第二通道的直徑，所述第二排出孔的直徑大于所述第二通道的直徑。

本發明還提供一種濺射靶材車床，包括：多個所述固定底座；以及多個酒精混配裝置；

其中，所述酒精混配裝置通過所述固定底座安裝到所述濺射靶材車床上，所述酒精混配裝置包括與所述底座本體的第一排出孔連通的酒精流入孔、與所述底座本體的第二排出孔連通的氣體流入孔、與所述酒精流入孔和氣體流入孔連通的腔室以及流出孔，其中酒精與壓縮氣體分別通過所述酒精流入孔、所述氣體流入孔流入所述腔室內，混合形成酒精噴霧并通過所述流出孔噴出。

可選地，所述濺射靶材車床還包括分水塊裝置，所述分水塊裝置與儲存酒精的酒精箱和儲存壓縮氣體的氣體箱相連接，所述分水塊裝置包括與所述底座本體的第一進入孔相連通以供給酒精的酒精導管以及與所述底座本體的第二進入孔相連通以供給壓縮氣體的氣體導管。