[發明專利]固定底座及包括其的濺射靶材車床

在審

• 申請號: 201811618412.6
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN111376060A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;王利江
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23Q1/01
• 分類號: B23Q1/01;B23Q11/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種固定底座(10)，其特征在于，包括：

底座本體(11)；以及

固定部(12)，其從所述底座本體(11)的前側平行于所述底座本體(11)的頂側向外延伸；

其中，所述底座本體(11)包括位于所述底座本體(11)的頂側的第一進入孔(131)、位于所述底座本體(11)的前側的第一排出孔(132)以及連通所述第一進入孔(131)和所述第一排出孔(132)的第一通道(13)；以及

所述底座本體(11)還包括位于所述底座本體(11)的頂側的第二進入孔(141)、位于所述底座本體(11)的前側的第二排出孔(142)以及連通所述第二進入孔(141)和所述第二排出孔(142)的第二通道(14)。

2.如權利要求1所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定底座(10)用于將酒精混配裝置(20)安裝到濺射靶材車床上，其中所述酒精混配裝置(20)固定到所述固定底座(10)的固定部(12)，所述底座本體(10)固定到濺射靶材車床上。

3.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定部(12)設有至少一個螺紋孔(121)。

4.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一進入孔(131)和所述第二進入孔(141)處分別設有過濾網。

5.如權利要求4所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一進入孔(131)和所述第二進入孔(141)處分別設有用于固定所述過濾網的固定板(133，143)，所述固定板(133，143)具有與所述第一進入孔(131)和所述第二進入孔(141)連通的通孔(134，144)。

6.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述底座本體(11)設有至少一個固定凸耳(16)，所述固定凸耳(16)設有螺紋孔(161)。

7.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一通道(13)為L形，所述底座本體(11)設有與所述第一通道(13)的拐角處連通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵頭螺絲。

8.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二通道(14)為L形，所述底座本體(11)設有與所述第二通道(14)的拐角處連通的排放孔(17)以及用于堵住所述排放孔的堵頭螺絲。

9.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一進入孔(131)的直徑大于所述第一通道(13)的直徑，所述第一排出孔(132)的直徑大于所述第一通道(13)的直徑。

10.如權利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二進入孔(141)的直徑大于所述第二通道(14)的直徑，所述第二排出孔(142)的直徑大于所述第二通道(14)的直徑。

11.一種濺射靶材車床，其特征在于，包括：

多個如權利要求1到10中任一項所述的固定底座(10)；以及

多個酒精混配裝置(20)；

其中，所述酒精混配裝置(20)通過所述固定底座(10)安裝到所述濺射靶材車床上，所述酒精混配裝置(20)包括與所述底座本體(11)的第一排出孔(132)連通的酒精流入孔(21)、與所述底座本體(11)的第二排出孔(142)連通的氣體流入孔(22)、與所述酒精流入孔(21)和氣體流入孔(22)連通的腔室以及流出孔(23)，其中酒精與壓縮氣體分別通過所述酒精流入孔(21)、所述氣體流入孔(22)流入所述腔室內，混合形成酒精噴霧并通過所述流出孔(23)噴出。

12.如權利要求11所述的濺射靶材車床，其特征在于，所述濺射靶材車床還包括分水塊裝置，所述分水塊裝置與儲存酒精的酒精箱和儲存壓縮氣體的氣體箱相連接，所述分水塊裝置包括與所述底座本體(11)的第一進入孔(131)相連通以供給酒精的酒精導管以及與所述底座本體(11)的第二進入孔(141)相連通以供給壓縮氣體的氣體導管。