[發明專利]一種柔性CIGS薄膜太陽能電池用背電極在審

申請號：	201811611244.8	申請日：	2018-12-27
公開（公告）號：	CN109473494A	公開（公告）日：	2019-03-15
發明（設計）人：	彭壽;馬立云;姚婷婷;李剛;彭賽奧;金克武;王天齊;沈洪雪;楊揚;甘治平	申請（專利權）人：	中建材蚌埠玻璃工業設計研究院有限公司
主分類號：	H01L31/0224	分類號：	H01L31/0224;H01L31/0445
代理公司：	安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113	代理人：	陳俊
地址：	233010 安徽***	國省代碼：	安徽;34
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	背電極膜層防腐蝕膜層合金膜層金屬膜層柔性基底基底降阻薄膜便于攜帶低電阻率歐姆接觸依次層疊不變形抗腐蝕可彎曲吸收層頂面硒化附著擴散
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【權利要求書】：

1.一種柔性CIGS薄膜太陽能電池用背電極，其特征在于，包括柔性基底，柔性基底頂面由下至上依次層疊有合金膜層、ZnAl膜層、降阻金屬膜層、防腐蝕膜層與Mo膜層；所述合金膜層為CuAl、CuZn、TiAl或TiCu薄膜；所述降阻金屬膜層為Ti、Al、Ag或Cu膜層；所述防腐蝕膜層為MoN、MoO、Al₂O₃、TiN或TiON膜層；

所述合金膜層的厚度為60～120nm、ZnAl膜層的厚度為40～80nm、降阻金屬膜層的厚度為20～40nm、防腐蝕膜層的厚度為15～60nm、Mo膜層的厚度為55～75nm。

2.根據權利要求1所述的一種柔性CIGS薄膜太陽能電池用背電極，其特征在于，所述柔性基底采用聚合物基板或金屬柔性基板。

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