[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811606564.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN109648449A
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張喬棟;蔡道庫(kù);陳業(yè);袁泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B27/00;B24B47/12;B24B47/04;B24B55/04;B24B55/06;B24B41/00
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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，包括箱體、第一齒輪、第二齒輪、齒條、滑動(dòng)梁、第一連接桿、旋轉(zhuǎn)裝置、拋光裝置和工件夾持裝置，箱體內(nèi)腔中部安裝有滑動(dòng)梁，滑動(dòng)梁滑動(dòng)安裝有齒條，箱體內(nèi)腔底部安裝有工件夾持裝置，本發(fā)明，通過(guò)第一齒輪。第二齒輪和齒條的配合，與齒條固定連接的拋光裝置做周期性往復(fù)運(yùn)動(dòng)，拋光裝置包括第一伸縮桿和第二伸縮桿，分別調(diào)節(jié)第一伸縮桿和第二伸縮桿的長(zhǎng)度可更好的對(duì)工件進(jìn)行拋光，第二伸縮桿對(duì)拋光過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行清理，提高拋光效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。半導(dǎo)體晶圓制造廠再把此多晶硅融解，再于融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成，此過(guò)程稱為“長(zhǎng)晶”。硅晶棒再經(jīng)過(guò)切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為積體電路工廠的基本原料——硅半導(dǎo)體晶圓片，這就是“半導(dǎo)體晶圓”。

在半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)工序中的拋光工序時(shí)，目前的市場(chǎng)上的設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高，不適合生產(chǎn)效益的需要，因此針對(duì)半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)工序，提出來(lái)了提供一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，包括箱體、第一齒輪、第二齒輪、齒條、滑動(dòng)梁、第一連接桿、旋轉(zhuǎn)裝置、拋光裝置和工件夾持裝置，所述箱體內(nèi)腔中部安裝有滑動(dòng)梁，所述滑動(dòng)梁滑動(dòng)安裝有齒條，所述齒條下方通過(guò)第一連接桿固定連接有若干組旋轉(zhuǎn)裝置，每個(gè)所述旋轉(zhuǎn)裝置下方安裝有拋光裝置，所述齒條上方安裝有第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪有齒輪側(cè)與第二齒輪和齒條相互嚙合，所述第一齒輪中心軸與外接電機(jī)輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述箱體內(nèi)腔底部安裝有工件夾持裝置。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述第一齒輪為不完全齒輪，且第一齒輪與第二齒輪和齒條錯(cuò)開嚙合。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)軸、通孔和連接橫梁，所述連接橫梁與第一連接桿固定連接，所述連接橫梁中間內(nèi)部設(shè)有通孔，所述連接橫梁的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)板。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述旋轉(zhuǎn)板頂端中間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器連接有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸穿過(guò)通孔，并且所述旋轉(zhuǎn)軸穿過(guò)通孔一側(cè)底端固定連接有旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板底部設(shè)置有拋光裝置。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述拋光裝置包括鎖緊螺桿、第一伸縮桿、拋光蠟、防塵外殼、拋光物品安裝罩、砂紙、毛刷和第二伸縮桿，所述旋轉(zhuǎn)板底端兩邊分別設(shè)有第一伸縮桿和第二伸縮桿，所述第一伸縮桿和第二伸縮桿上均設(shè)置有鎖緊螺桿，所述第一伸縮桿和第二伸縮桿的底端均與拋光物品安裝罩固定連接，所述拋光物品安裝罩內(nèi)設(shè)置有拋光蠟、砂紙和毛刷。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述拋光物品安裝罩側(cè)面上可拆卸安裝有防塵外殼。

一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)設(shè)備，包括所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備。