[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811606564.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN109648449A
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張喬棟;蔡道庫;陳業(yè);袁泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B27/00;B24B47/12;B24B47/04;B24B55/04;B24B55/06;B24B41/00
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1.一種用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，包括箱體（1）、第一齒輪（2）、第二齒輪（3）、齒條（4）、滑動(dòng)梁（5）、第一連接桿（6）、旋轉(zhuǎn)裝置（7）、拋光裝置（8）和工件夾持裝置（9），其特征在于，所述箱體（1）內(nèi)腔中部安裝有滑動(dòng)梁（5），所述滑動(dòng)梁（5）滑動(dòng)安裝有齒條（4），所述齒條（4）下方通過第一連接桿（6）固定連接有若干組旋轉(zhuǎn)裝置（7），每個(gè)所述旋轉(zhuǎn)裝置（7）下方安裝有拋光裝置（8），所述齒條（4）上方安裝有第一齒輪（2）和第二齒輪（3），所述第一齒輪（2）有齒輪側(cè)與第二齒輪（3）和齒條（4）相互嚙合，所述第一齒輪（2）中心軸與外接電機(jī)輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述箱體（1）內(nèi)腔底部安裝有工件夾持裝置（9）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述第一齒輪（2）為不完全齒輪，所述第一齒輪（2）與第二齒輪（3）和齒條（4）錯(cuò)開嚙合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置（7）包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)（71）、旋轉(zhuǎn)軸（72）、通孔（73）和連接橫梁（74），所述連接橫梁（74）與第一連接桿（6）固定連接，所述連接橫梁（74）中間內(nèi)部設(shè)有通孔（73），所述連接橫梁（74）的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)板（75）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)板（75）頂端中間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)（71），所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（71）通過聯(lián)軸器連接有旋轉(zhuǎn)軸（72），所述旋轉(zhuǎn)軸（72）穿過通孔（73），并且所述旋轉(zhuǎn)軸（72）穿過通孔（73）一側(cè)底端固定連接有旋轉(zhuǎn)板（75），所述旋轉(zhuǎn)板（75）底部設(shè)置有拋光裝置（8）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述拋光裝置（8）包括鎖緊螺桿（81）、第一伸縮桿（82）、拋光蠟（83）、防塵外殼（84）、拋光物品安裝罩（85）、砂紙（86）、毛刷（87）和第二伸縮桿（88），所述旋轉(zhuǎn)板（75）底端兩邊分別設(shè)有第一伸縮桿（82）和第二伸縮桿（88），所述第一伸縮桿（82）和第二伸縮桿（88）上均設(shè)置有鎖緊螺桿（81），所述第一伸縮桿（82）和第二伸縮桿（88）的底端均與拋光物品安裝罩（85）固定連接，所述拋光物品安裝罩（85）內(nèi)設(shè)置有拋光蠟（83）、砂紙（86）和毛刷（87）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述拋光物品安裝罩（85）側(cè)面上可拆卸安裝有防塵外殼（84）。

7.一種半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)的拋光設(shè)備。