[發(fā)明專利]多晶硅取棒裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811605733.2
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN109399642B
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡延國;楊明財;王生紅
• 申請（專利權(quán)）人: 亞洲硅業(yè)（青海）有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙志遠(yuǎn)

本發(fā)明提供了一種多晶硅取棒裝置及方法，屬于多晶硅準(zhǔn)運領(lǐng)域。多晶硅取棒裝置包括：潔凈罩，潔凈罩內(nèi)具有密閉的容納腔；取料機構(gòu)，取料機構(gòu)設(shè)置于容納腔的內(nèi)部；取料機構(gòu)包括軌道、第一運載件以及機械臂，軌道設(shè)置為環(huán)形，第一運載件和軌道滑動連接，機械臂和第一運載件連接，第一運載件用于帶動機械臂沿著軌道運動；轉(zhuǎn)運機構(gòu)，轉(zhuǎn)運機構(gòu)設(shè)置于容納腔的內(nèi)部；控制器，控制器分別和第一運載件、機械臂以及第二運載件電連接，控制器用于分別控制第一運載件、機械臂以及第二運載件。這種多晶硅取棒裝置及方法可以在密閉的空間中進(jìn)行，可以有效防止外界的物質(zhì)對多晶硅棒造成污染，并且利用機械臂在軌道上進(jìn)行轉(zhuǎn)運，可以具有較高的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及多晶硅準(zhǔn)運領(lǐng)域，具體而言，涉及一種多晶硅取棒裝置及方法。

背景技術(shù)

近年來,太陽能以其清潔無污染、分布廣泛、儲量豐富等優(yōu)點受到了普遍重視,同時掀起了人類開發(fā)利用太陽能的熱潮,光伏產(chǎn)業(yè)應(yīng)運而生，作為光伏產(chǎn)業(yè)鏈最前端的多晶硅產(chǎn)業(yè),在巨大的市場需求下已成為當(dāng)今各行業(yè)發(fā)展中最炙手可熱的焦點，在目前的光伏產(chǎn)業(yè)中，西門子法是生產(chǎn)多晶硅的主流工藝，主要工藝之一是化學(xué)還原氣相沉積，它是在1100℃高溫下由經(jīng)過多級精餾的三氯氫硅氣體與氫氣反應(yīng)還原成硅并不斷沉積在初始硅芯上長大形成直徑達(dá)到數(shù)百毫米的倒“U”型硅棒。

目前大多數(shù)企業(yè)采用機械臂單對取或人工取多晶硅棒，此過程工人勞動強度大，耗時較長，效率低，易對硅棒造成污染，而且由人工取多晶硅棒的過程中會造成硅棒斷裂劃傷操作人員。因此，迫切需要一種高效、便捷、安全性能有保障，且不造成硅棒污染的多晶硅取棒裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種多晶硅取棒裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅取棒裝置存在的上述問題；

本發(fā)明還提供了一種多晶硅取棒方法，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅取棒方法存在的上述問題。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的：

一種多晶硅取棒裝置，包括：

潔凈罩，所述潔凈罩內(nèi)具有密閉的容納腔；

取料機構(gòu)，所述取料機構(gòu)設(shè)置于所述容納腔的內(nèi)部；

所述取料機構(gòu)包括軌道、第一運載件以及機械臂，所述軌道設(shè)置為環(huán)形，所述第一運載件和所述軌道滑動連接，所述機械臂和所述第一運載件連接，所述第一運載件用于帶動所述機械臂沿著所述軌道運動；

轉(zhuǎn)運機構(gòu)，所述轉(zhuǎn)運機構(gòu)設(shè)置于所述容納腔的內(nèi)部；

所述轉(zhuǎn)運機構(gòu)包括相互連接的第二運載件和用于盛放多晶硅棒的容納件，所述第二運載件用于帶動所述容納件運動；

控制器，所述控制器分別和所述第一運載件、所述機械臂以及所述第二運載件電連接，所述控制器用于分別控制所述第一運載件、所述機械臂以及所述第二運載件。

在本發(fā)明較佳的實施例中，所述潔凈罩包括多個潔凈罩瓣，多個所述潔凈罩瓣呈鏈狀依次鉸接，兩端的兩個所述潔凈罩瓣之間可拆卸連接，當(dāng)兩端的兩個所述潔凈罩瓣之間連接，多個所述潔凈罩瓣之間形成閉合環(huán)狀。

在本發(fā)明較佳的實施例中，所述潔凈罩還包括第三運載件，所述第三運載件和所述潔凈罩瓣連接，所述第三運載件用于帶動所述潔凈罩瓣運動。

在本發(fā)明較佳的實施例中，所述第三運載件包括傳動連接的第三驅(qū)動件和第三滾輪，所述第三驅(qū)動件用于驅(qū)動所述第三滾輪轉(zhuǎn)動，所述控制器和所述第三驅(qū)動件電連接。

在本發(fā)明較佳的實施例中，所述第一運載件設(shè)置為多個，多個所述第一運載件在所述軌道上間隔分布，所述機械臂設(shè)置為多個，所述機械臂和所述第一運載件一一對應(yīng)。