[發(fā)明專(zhuān)利]多晶硅取棒裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811605733.2
• 申請(qǐng)日: 2018-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109399642B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡延國(guó);楊明財(cái);王生紅
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 亞洲硅業(yè)（青海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/035
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 趙志遠(yuǎn)

1.一種多晶硅取棒裝置，其特征在于，包括：

潔凈罩，所述潔凈罩內(nèi)具有密閉的容納腔；

取料機(jī)構(gòu)，所述取料機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述容納腔的內(nèi)部；

所述取料機(jī)構(gòu)包括軌道、第一運(yùn)載件以及機(jī)械臂，所述軌道設(shè)置為環(huán)形，所述第一運(yùn)載件和所述軌道滑動(dòng)連接，所述機(jī)械臂和所述第一運(yùn)載件連接，所述第一運(yùn)載件用于帶動(dòng)所述機(jī)械臂沿著所述軌道運(yùn)動(dòng)；

所述第一運(yùn)載件設(shè)置為多個(gè)，多個(gè)所述第一運(yùn)載件在所述軌道上間隔分布，所述機(jī)械臂設(shè)置為多個(gè)，所述機(jī)械臂和所述第一運(yùn)載件一一對(duì)應(yīng)；

轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述容納腔的內(nèi)部；

所述轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括相互連接的第二運(yùn)載件和用于盛放多晶硅棒的容納件，所述第二運(yùn)載件用于帶動(dòng)所述容納件運(yùn)動(dòng)；

控制器，所述控制器分別和所述第一運(yùn)載件、所述機(jī)械臂以及所述第二運(yùn)載件電連接，所述控制器用于分別控制所述第一運(yùn)載件、所述機(jī)械臂以及所述第二運(yùn)載件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述潔凈罩包括多個(gè)潔凈罩瓣，多個(gè)所述潔凈罩瓣呈鏈狀依次鉸接，兩端的兩個(gè)所述潔凈罩瓣之間可拆卸連接，當(dāng)兩端的兩個(gè)所述潔凈罩瓣之間連接，多個(gè)所述潔凈罩瓣之間形成閉合環(huán)狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述潔凈罩還包括第三運(yùn)載件，所述第三運(yùn)載件和所述潔凈罩瓣連接，所述第三運(yùn)載件用于帶動(dòng)所述潔凈罩瓣運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述第三運(yùn)載件包括傳動(dòng)連接的第三驅(qū)動(dòng)件和第三滾輪，所述第三驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第三滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述控制器和所述第三驅(qū)動(dòng)件電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述第一運(yùn)載件包括傳動(dòng)連接的第一滾輪和第一驅(qū)動(dòng)件，所述第一滾輪和所述軌道滾動(dòng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第一滾輪沿著所述軌道運(yùn)動(dòng)，所述控制器和所述第一驅(qū)動(dòng)件電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述第二運(yùn)載件包括傳動(dòng)連接的第二驅(qū)動(dòng)件和第二滾輪，所述第二驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第二滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述控制器和所述第二驅(qū)動(dòng)件電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述機(jī)械臂上具有夾取部，所述夾取部上具有感應(yīng)件，所述感應(yīng)件用于感應(yīng)所述夾取部的夾持力，所述感應(yīng)件和所述控制器電連接，所述控制器用于根據(jù)所述感應(yīng)件的信號(hào)控制所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅取棒裝置，其特征在于，所述感應(yīng)件為壓力傳感器。

9.一種多晶硅取棒方法，其特征在于，應(yīng)用于如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的多晶硅取棒裝置，包括如下步驟：

將環(huán)形的軌道設(shè)置于還原爐底盤(pán)外側(cè)；

將潔凈罩罩設(shè)在多晶硅棒上；

利用機(jī)械臂以合適的夾持力將多晶硅棒夾持至轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)上；

打開(kāi)潔凈罩，利用轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)將多晶硅棒運(yùn)出。