[發明專利]半導體激光器全局均勻度的檢測方法、裝置及可讀存儲介質

在審

• 申請號: 201811601859.2
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109696240A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 林挺
• 申請（專利權）人: 信利光電股份有限公司
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 李健威;陳衛

1.一種半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，包括：

步驟1：待測激光器向接收平面發射紅外激光，紅外攝像頭向接收平面拍攝紅外激光得到激光圖像；

步驟2：將激光圖像中的激光區域分割為多個子區域，依據每個子區域的子亮度平均值和激光區域的總亮度平均值，判斷待測激光器的全局均勻度是否合格。

2.根據權利要求1所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，步驟2包括：

步驟2.1：在激光圖像中確定激光區域的區域范圍；

步驟2.2：依據多個等分角度將激光區域分割為多個子區域；

步驟2.3：計算出每個子區域的子亮度平均值，和激光區域的總亮度平均值；

步驟2.4：計算出每個子亮度平均值與總亮度平均值之間的亮度比值；

步驟2.5：依據每個亮度比值，判斷待測激光器的全局均勻度是否合格。

3.根據權利要求2所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，步驟2.1包括：

步驟2.1.1：獲取激光區域在上下左右四側上的最邊緣像素點；

步驟2.1.2：依據四側最邊緣像素點所在的橫直線或縱直線作為激光區域的四側邊緣直線，得到激光區域的區域范圍。

4.根據權利要求3所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，步驟2.1.1包括：

步驟2.1.1.1：在激光圖像中，選取激光區域中亮度值較大的至少一像素點，計算出平均亮度值；

步驟2.1.1.2：以平均亮度值的一定比例作為二值化閾值，對激光圖像進行二值化得到二值化圖像；

步驟2.1.1.3：在二值化圖像中，獲取激光區域在上下左右四側上的最邊緣像素點。

5.根據權利要求2所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，在步驟2.2中，將待測激光器的FOV等分為多個等分角度，依據多個等分角度將激光區域分割為多個子區域。

6.根據權利要求2或5所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，待測激光器和紅外攝像頭的光軸重合且垂直于接收平面，在步驟2.2中，以激光圖像的橫向作為X軸、縱向作為Y軸，建立直角坐標系XY，每個子區域的左右兩側邊的橫向坐標x1和x2以及上下兩側邊的縱向坐標y1和y2滿足以下方程：

，

其中（xc，yc）為激光區域的中心像素點坐標，h1為紅外攝像頭的鏡頭光心到接收平面的距離，h2為待測激光器到接收平面的距離，f為紅外攝像頭的焦距，psize為像素尺寸，Ax為待測激光器101的橫向等分角度，Ay為待測激光器的縱向等分角度。

7.根據權利要求2所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，在步驟2.4中，亮度比值a= |1-（avey/mave）|，其中，avey為子亮度平均值，mave為總亮度平均值。

8.根據權利要求2或7所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法，其特征在于，在步驟2.5中，若每個亮度比值均小于預定合格值，則判斷待測激光器的全局均勻度合格。

9.一種半導體激光器全局均勻度的檢測裝置，其特征在于，包括：

接收平面，用于接收待測激光器發射的紅外激光；

紅外攝像頭，用于采集經接收平面上的紅外激光得到激光圖像；

計算模塊，用于進行權利要求1-8中任一所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法中的步驟2。

10.一種可讀存儲介質，其儲存有供處理器執行的計算機程序，其特征在于，該計算機程序被所述處理器執行時，進行權利要求1-8中任一所述的半導體激光器全局均勻度的檢測方法中的步驟2。