[發明專利]藍相液晶面板的制作方法及其立體電極的制作方法

有效

• 申請號: 201811601232.7
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109597250B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 李遷;陳興武
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1343
• 分類號: G02F1/1343;G02F1/137
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明提供一種藍相液晶面板的制作方法及其立體電極的制作方法，該藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法包括：提供一基板；在該基板表面沉積形成一層薄膜；在薄膜表面形成多個相間分布的輔助金屬層；將基板浸入刻蝕液中進行刻蝕處理，形成多個相間分布的立體基底；將經過刻蝕處理后的基板進行清洗處理；在立體基底表面沉積一層ITO導電層，得到立體電極。本發明通過使用金屬輔助法在基板上制作不同刻蝕模板多晶硅(氧化硅)的立體化圖案，以及通過控制刻蝕液的濃度和刻蝕時間，來得到不同寬度/高度比和不同形狀的立體電極，具有可調性，滿足了不同的電極設計需求，能夠降低藍相液晶顯示面板的驅動電壓。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種藍相液晶面板的制作方法及其立體電極的制作方法。

背景技術

藍相液晶顯示面板由于具有亞毫秒級的響應速度等優點，目前已得到廣泛的關注，但是其自身具有的高驅動電壓等缺點也成為了限制其發展的主要因素。針對如何降低藍相液晶顯示面板的驅動電壓這一技術問題，目前已經提出了不同的方案，例如：從新電極的結構和形狀、新電極的排列方式以及新的藍相液晶單體材料等方面進行改進。其中，電極結構和形狀的改進是目前普遍提出的比較有效的實施方案之一。

關于不同形狀的立體電極，人們已經通過模擬手段證明其有效性，但是立體電極的主要難點在于立體電極的制作工藝，如何制作高度合適、導電性能好的立體電極成為亟待解決的問題。

因此，本發明提供一種新的藍相液晶面板的制作方法及其立體電極的制作方法，來解決上述技術問題。

發明內容

本發明提供一種藍相液晶面板的制作方法及其立體電極的制作方法，可解決現有技術中的立體電極的制作工藝問題。

為解決上述問題，本發明提供的技術方案如下：

本發明實施例提供一種藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法，所述制造方法包括以下步驟：

S 10：提供一基板；

S20：在所述基板表面沉積形成一層薄膜；

S30：在所述薄膜表面制作陣列圖案，形成有多個相間分布的輔助金屬層；

S40：將所述基板浸入刻蝕液中進行刻蝕處理，形成多個相間分布的立體基底；

S50：將經過刻蝕處理后的所述基板進行清洗處理；

S60：在所述立體基底表面沉積一層ITO導電層，得到立體電極。

在本發明實施例提供的藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法中，所述薄膜的材料為多晶硅或氧化硅。

在本發明實施例提供的藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法中，所述薄膜的高度為100nm～5um。

在本發明實施例提供的藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法中，采用低壓力化學氣相沉積方法在所述基板表面形成所述薄膜。

在本發明實施例提供的藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法中，通過電子束光刻方法形成所述輔助金屬層。

在本發明實施例提供的藍相液晶顯示面板立體電極的制作方法中，所述通過電子束光刻方法形成所述輔助金屬層的步驟包括：

S301：在所述薄膜上覆蓋一層金屬層；

S302：在所述金屬層上覆蓋一層電子束光刻膠；

S303：采用電子束曝光系統，對所述電子束光刻膠進行曝光；

S304：對曝光后的所述電子束光刻膠進行顯影；

S305：剝離所述電子束光刻膠，形成所述輔助金屬層。