[發(fā)明專利]一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811600707.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN111365220B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉坤;關(guān)天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;畢德龍;段啟惠;遲小宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純
• 申請（專利權(quán)）人: 東北大學(xué);中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

本發(fā)明涉及真空干泵測試領(lǐng)域，具體地說是一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)，包括待測真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一維持泵、第二維持泵和氣瓶，第一真空室與待測真空干泵的進氣口相連，第二真空室與待測真空干泵的出氣口相連，第一維持泵和氣瓶分別與第一真空室相連，第二真空室與第二維持泵相連，在氣待測真空干泵的進氣口和出氣口內(nèi)均設(shè)有溫度傳感器，在氣待測真空干泵內(nèi)設(shè)有多個壓力傳感器，所述壓力傳感器包括封裝層、壓感膜和電感線圈，在待測真空干泵外側(cè)與各個壓力傳感器對應(yīng)的位置均固設(shè)有耦合電感。本發(fā)明能夠更客觀地測量真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)，并且不會對泵體造成過多損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空干泵測試領(lǐng)域，具體地說是一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著近年來半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)等行業(yè)的快速發(fā)展，其工藝過程中對清潔真空環(huán)境的依賴逐步提高，真空干泵由于能夠快速高效獲取清潔無油的中高真空環(huán)境，因而得到廣泛應(yīng)用，而在真空干泵生產(chǎn)中，對其進行產(chǎn)品性能測試尤為重要。在真空干泵的內(nèi)部流場測試中，其主要測量的參數(shù)包括流量、溫度、壓強等，雖然這些參數(shù)也能通過計算機模擬計算得出，但是計算機模擬結(jié)果往往和實際生產(chǎn)情況之間存在著誤差。另外目前對干泵內(nèi)部參數(shù)的測量主要依靠傳感器，尤其是壓力傳感器，往往需要在泵體上開多個螺紋孔安裝各個傳感器，以方便直接測得干泵內(nèi)部壓力，這不僅影響效率、提高成本，而且會對干泵造成損壞

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)，能夠更客觀地測量真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)，并且采用帶壓感膜的壓力傳感器進行測量，不會對泵體造成過多損壞。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：

一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)，包括待測真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一維持泵、第二維持泵和氣瓶，第一真空室與待測真空干泵的進氣口相連，第二真空室與待測真空干泵的出氣口相連，第一維持泵和氣瓶分別通過管路與第一真空室相連，第二真空室通過管路與第二維持泵相連，在所述待測真空干泵的進氣口和出氣口內(nèi)均設(shè)有溫度傳感器，在所述待測真空干泵內(nèi)設(shè)有多個壓力傳感器，所述壓力傳感器包括封裝層、壓感膜和電感線圈，電感線圈設(shè)于兩個壓感膜之間，且每個壓感膜外側(cè)均設(shè)有封裝層，在待測真空干泵外側(cè)與各個壓力傳感器對應(yīng)的位置均固設(shè)有耦合電感。

所述封裝層厚度為0.4mm～0.6mm，所述壓感膜厚度為0.1mm～0.2mm，兩個壓感膜之間的膜間距為0.03～0.07mm。

所述待測真空干泵的內(nèi)壁上設(shè)有多個安裝槽且槽深為1.5～2.5mm，所述壓力傳感器固裝于對應(yīng)的安裝槽中。

所述電感線圈為圓形；所述耦合電感形狀與壓力傳感器形狀相同。

所述待測真空干泵的進氣口內(nèi)壁和出氣口內(nèi)壁均設(shè)有螺紋孔，所述溫度傳感器安裝在對應(yīng)的螺紋孔內(nèi)且頭部涂有真空密封膠。

所述第一真空室與待測真空干泵之間的連接管路上沿著氣體傳輸方向依次設(shè)有流量計、入氣通斷閥和第一壓力表，待測真空干泵與第二真空室之間的連接管路上沿著氣體傳輸方向依次設(shè)有第二壓力表和出氣通斷閥。

第一真空室上設(shè)有第一真空計和第一放氣閥，第二真空室上設(shè)有第二真空計和第二放氣閥。

第一維持泵和第一真空室之間的連接管路上設(shè)有第一流量調(diào)節(jié)閥，第二維持泵和第二真空室的連接管路上設(shè)有第二流量調(diào)節(jié)閥。

氣瓶和第一真空室之間的連接管路上設(shè)有氣瓶流量調(diào)節(jié)閥。

本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為：