[發明專利]一種真空干泵內部流場參數測試系統

有效

• 申請號: 201811600707.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN111365220B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 劉坤;關天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;畢德龍;段啟惠;遲小宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

1.一種真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：包括待測真空干泵(7)、第一真空室(2)、第二真空室(13)、第一維持泵(17)、第二維持泵(14)和氣瓶(18)，第一真空室(2)與待測真空干泵(7)的進氣口相連，第二真空室(13)與待測真空干泵(7)的出氣口相連，第一維持泵(17)和氣瓶(18)分別通過管路與第一真空室(2)相連，第二真空室(13)通過管路與第二維持泵(14)相連，在所述待測真空干泵(7)的進氣口和出氣口內均設有溫度傳感器(22)，在所述待測真空干泵(7)內設有多個壓力傳感器(9)，所述壓力傳感器(9)包括封裝層(19)、壓感膜(20)和電感線圈(21)，電感線圈(21)設于兩個壓感膜(20)之間，且每個壓感膜(20)外側均設有封裝層(19)，在待測真空干泵(7)外側與各個壓力傳感器(9)對應的位置均固設有耦合電感。

2.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：所述封裝層(19)厚度為0.4mm～0.6mm，所述壓感膜(20)厚度為0.1mm～0.2mm，兩個壓感膜(20)之間的膜間距為0.03～0.07mm。

3.根據權利要求2所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：所述待測真空干泵(7)的內壁上設有多個安裝槽且槽深為1.5～2.5mm，所述壓力傳感器(9)固裝于對應的安裝槽中。

4.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：所述電感線圈(21)為圓形；所述耦合電感形狀與壓力傳感器(9)形狀相同。

5.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：所述待測真空干泵(7)的進氣口內壁和出氣口內壁均設有螺紋孔，所述溫度傳感器(22)安裝在對應的螺紋孔內且頭部涂有真空密封膠。

6.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：所述第一真空室(2)與待測真空干泵(7)之間的連接管路上沿著氣體傳輸方向依次設有流量計(3)、入氣通斷閥(5)和第一壓力表(6)，待測真空干泵(7)與第二真空室(13)之間的連接管路上沿著氣體傳輸方向依次設有第二壓力表(11)和出氣通斷閥(12)。

7.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：第一真空室(2)上設有第一真空計(1)和第一放氣閥(23)，第二真空室(13)上設有第二真空計(16)和第二放氣閥(26)。

8.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：第一維持泵(17)和第一真空室(2)之間的連接管路上設有第一流量調節閥(24)，第二維持泵(14)和第二真空室(13)的連接管路上設有第二流量調節閥(27)。

9.根據權利要求1所述的真空干泵內部流場參數測試系統，其特征在于：氣瓶(18)和第一真空室(2)之間的連接管路上設有氣瓶流量調節閥(25)。