[發明專利]一種多功能真空泵測試罩

有效

• 申請號: 201811600694.7
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN111365219B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 劉坤;張朔熙;王光玉;孔祥玲;劉志東;遲小宇;謝元華;郝明;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

本發明涉及真空泵測試領域，具體地說是一種多功能真空泵測試罩，包括外殼、水冷管、加熱絲和反射罩，所述外殼外側設有水冷管，所述外殼內部設有反射罩和加熱絲，所述外殼一端設有可打開的第一密封蓋，另一端閉合且設有待測泵口；所述外殼上設有進氣口、測溫口、測壓口、PIV觀測口和多個抽氣口，其中所述多個抽氣口包括與主泵連接的主抽氣口和與粗抽泵連接的粗抽口。本發明集加熱、冷卻、抽氣、進氣、測壓、測溫、PIV觀察等一系列功能于一身，能夠使真空泵測試罩內的氣體環境滿足要進行的真空泵性能測試的要求，同時其測試結果的穩定性和準確性也得到提高。

技術領域

本發明涉及真空泵測試領域，具體地說是一種多功能真空泵測試罩。

背景技術

近年來，隨著半導體電子、光伏、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏等新興戰略行業的大規模興起，以及化工、制藥和食品包裝等傳統行業的產業升級，各行業對于真空泵的需求越來越多，并且對于真空泵的要求也越來越苛刻，因此為了保證產品質量，真空泵在出廠前的性能測試愈發重要。

目前絕大多數真空泵廠家都需要按照相關技術標準對真空泵產品進行抽氣性能指標，抽氣性能指標包括抽速、極限真空度、電機功率、噪聲等多個指標，而目前進行抽氣性能測試時所使用的真空泵測試罩，其結構比較簡單，在測試結果的準確度及可靠性方面很難得到保障，并且功能相對單一，大多只能對常溫下的氣體進行測試。

發明內容

本發明的目的在于提供一種多功能真空泵測試罩，集加熱、冷卻、抽氣、進氣、測壓、測溫、粒子圖像測速觀察等一系列功能于一身，能夠使真空泵測試罩內的氣體環境滿足要進行的真空泵性能測試的要求，同時也保證了測試結果的穩定性和準確性。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

一種多功能真空泵測試罩，包括外殼、水冷管、加熱絲和反射罩，所述外殼外側設有水冷管，所述外殼內部設有反射罩和加熱絲，所述外殼一端設有可打開的第一密封蓋，另一端閉合且設有待測泵口；所述外殼上設有進氣口、測溫口、測壓口、粒子圖像測速觀測口和多個抽氣口，其中所述多個抽氣口包括與主泵連接的主抽氣口和與粗抽泵連接的粗抽口。

所述進氣口與一個進氣管道相連，且所述進氣管道置于所述外殼內，所述進氣管道出氣端折彎使管道出氣口位于外殼的中軸線上，并且所述管道出氣口朝向與所述待測泵口相反一側。

所述外殼的內徑為D，所述進氣管道口徑為0.1D。

所述測溫口內設有測溫熱電偶，所述測壓口內設有真空計。

所述測壓口設于外殼軸向方向距離閉合端0.5D位置處。

所述外殼上設有兩個粒子圖像測速觀測口，且沿著所述外殼軸向看去，第一粒子圖像測速觀測口和第二粒子圖像測速觀測口軸線呈90度，其中第一粒子圖像測速觀測口設于外殼上側，第二粒子圖像測速觀測口與進氣口相對分設于外殼兩側。

所述加熱絲包括中心加熱絲和外加熱絲，所述中心加熱絲沿著外殼中軸線設置且呈螺旋狀，外加熱絲設于外殼內壁上且設于反射罩內側，所述外加熱絲呈鼠籠狀。

述外殼內設有不同長度的陶瓷桿，其中中心加熱絲通過沿著外殼徑向設置的第一陶瓷桿固定，外加熱絲和反射罩通過第二陶瓷桿固定于外殼內壁上。

所述外殼一側設有可打開的第一密封蓋，另一側固設有第二密封蓋，所述外殼以及第一密封蓋和第二密封蓋上均設有水冷管，所述主抽氣口和粗抽口均設于外殼上且軸線位于同一平面，并且沿著所述外殼軸向看去，所述主抽氣口和粗抽口軸線呈90度。

所述外殼一側設有可打開的第一密封蓋，另一側設有帶主抽氣口的法蘭盤，所述外殼上設有與不同粗抽泵相連的粗抽口和側抽氣口，所述粗抽口和側抽氣口軸線處于同一平面，且沿著所述外殼軸向看去，所述粗抽口軸線與側抽氣口軸線呈90度。

本發明的優點與積極效果為：