[發明專利]一種多功能真空泵測試罩

有效

• 申請號: 201811600694.7
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN111365219B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 劉坤;張朔熙;王光玉;孔祥玲;劉志東;遲小宇;謝元華;郝明;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

1.一種多功能真空泵測試罩，其特征在于：包括外殼(14)、水冷管(18)、加熱絲和反射罩(23)，所述外殼(14)外側設有水冷管(18)，所述外殼(14)內部設有反射罩(23)和加熱絲，所述外殼(14)一端設有可打開的第一密封蓋(1)，另一端閉合且設有待測泵口；所述外殼(14)上設有進氣口(9)、測溫口(7)、測壓口(26)、粒子圖像測速觀測口和多個抽氣口，其中所述多個抽氣口包括與主泵連接的主抽氣口(15)和與粗抽泵連接的粗抽口(10)。

2.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述進氣口(9)與一個進氣管道(24)相連，且所述進氣管道(24)置于所述外殼(14)內，所述進氣管道(24)出氣端折彎使管道出氣口(241)位于外殼(14)的中軸線上，并且所述管道出氣口(241)朝向與所述待測泵口相反一側。

3.根據權利要求2所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述外殼(14)的內徑為D，所述進氣管道(24)口徑為0.1D。

4.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述測溫口(7)內設有測溫熱電偶，所述測壓口(26)內設有真空計。

5.根據權利要求1或4所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述測壓口(26)設于外殼(14)軸向方向距離閉合端0.5D位置處。

6.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述外殼(14)上設有兩個粒子圖像測速觀測口，且沿著所述外殼(14)軸向看去，第一粒子圖像測速觀測口(6)和第二粒子圖像測速觀測口(22)軸線呈90度，其中第一粒子圖像測速觀測口(6)設于外殼(14)上側，第二粒子圖像測速觀測口(22)與進氣口(9)相對分設于外殼(14)兩側。

7.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述加熱絲包括中心加熱絲(28)和外加熱絲(25)，所述中心加熱絲(28)沿著外殼(14)中軸線設置且呈螺旋狀，外加熱絲(25)設于外殼(14)內壁上且設于反射罩(23)內側，所述外加熱絲(25)呈鼠籠狀。

8.根據權利要求7所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：述外殼(14)內設有不同長度的陶瓷桿，其中中心加熱絲(28)通過沿著外殼(14)徑向設置的第一陶瓷桿(21)固定，外加熱絲(25)和反射罩(23)通過第二陶瓷桿(27)固定于外殼(14)內壁上。

9.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述外殼(14)一側設有可打開的第一密封蓋(1)，另一側固設有第二密封蓋(11)，所述外殼(14)以及第一密封蓋(1)和第二密封蓋(11)上均設有水冷管(18)，所述主抽氣口(15)和粗抽口(10)均設于外殼(14)上且軸線位于同一平面，并且沿著所述外殼(14)軸向看去，所述主抽氣口(15)和粗抽口(10)軸線呈90度。

10.根據權利要求1所述的多功能真空泵測試罩，其特征在于：所述外殼(14)一側設有可打開的第一密封蓋(1)，另一側設有帶主抽氣口(15)的法蘭盤(29)，所述外殼(14)上設有與不同粗抽泵相連的粗抽口(10)和側抽氣口(30)，所述粗抽口(10)和側抽氣口(30)軸線處于同一平面，且沿著所述外殼(14)軸向看去，所述粗抽口(10)軸線與側抽氣口(30)軸線呈90。