[發明專利]一種頂電極圖案化有機電致發光器件的制備方法

在審

• 申請號: 201811600577.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109713159A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 謝孟坤;魏斌;嚴利民;劉心元;譚紅斌;薛永站
• 申請（專利權）人: 上海晶合光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 杜陽陽

本發明公開了一種頂電極圖案化有機電致發光器件的制備方法。該方法包括：對ITO導電玻璃進行清潔處理；在清潔后的ITO導電玻璃表面旋涂光刻膠，使光刻膠完全覆蓋于所述ITO導電玻璃表面，得到光刻膠處理后的ITO導電玻璃；對光刻膠處理后的ITO導電玻璃進行分塊化處理，將ITO導電玻璃分成多個ITO導電模塊，得到模塊化底電極；在模塊化底電極上依次蒸鍍空穴注入層、空穴傳輸層、有機發光層、電子傳輸層和電子注入層；對每一ITO導電模塊的電子注入層上蒸鍍圖案化金屬電極，得到頂電極圖案化有機電致發光器件。采用本發明的方法具有工藝流程簡單，節約成本的優點。

技術領域

本發明涉及有機電致發光器件技術領域，特別是涉及一種頂電極圖案化有機電致發光器件的制備方法。

背景技術

近些年來，有機電致發光器件已經普遍應用于照明顯示領域，有機電子器件是以能夠導電的有機材料為基礎制備的具有特定功能的半導體器件。由于有機電子器件中的有機材料大部分是由碳和氫組成的，用它們來做電子器件具有很多好處，例如易制作、成本低、化學可調、透明易彎曲等。利用有機電子器件的這些優點可以將其應用于圖案化大面積顯示領域，如汽車尾燈、燈牌等。

目前，圖案化有機電致發光器件的制備方法是將底電極圖案化，這種方法雖然精準，但是工藝復雜，工序較多，且復雜的工藝設計不利于器件的封裝。而且對于一些簡單圖形，利用底電極圖案化的方法顯得復雜冗長，不利于實際生產加工中節約成本的需求。

發明內容

本發明的目的是提供一種頂電極圖案化有機電致發光器件的制備方法，具有工藝流程簡單，節約成本的優點。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：

一種頂電極圖案化有機電致發光器件的制備方法，包括：

對ITO導電玻璃進行清潔處理；

在清潔后的ITO導電玻璃表面旋涂光刻膠，使所述光刻膠完全覆蓋于所述ITO導電玻璃表面，得到光刻膠處理后的ITO導電玻璃；

對所述光刻膠處理后的ITO導電玻璃進行分塊化處理，將所述ITO導電玻璃分成多個ITO導電模塊，得到模塊化底電極；

在所述模塊化底電極上依次蒸鍍空穴注入層、空穴傳輸層、有機發光層、電子傳輸層和電子注入層；

對每一ITO導電模塊的電子注入層上蒸鍍圖案化金屬電極，得到頂電極圖案化有機電致發光器件。

可選的，所述對所述光刻膠處理后的ITO導電玻璃進行分塊化處理，具體包括：

對所述光刻膠處理后的ITO導電玻璃進行前烘處理；

在前烘處理后的ITO導電玻璃的上方放置掩模版；所述掩模版包括遮光區和曝光區，所述掩模版的遮光區和曝光區的分布情況根據待分塊處理的ITO導電玻璃中各個ITO導電模塊的大小和形狀確定；

對放置掩模版的ITO導電玻璃進行曝光處理，得到曝光處理后的ITO導電玻璃；

對所述曝光處理后的ITO導電玻璃進行后烘處理；

用顯影液去除后烘處理后的ITO導電玻璃曝光區域的光刻膠；

刻蝕曝光區域的ITO，得到刻蝕處理后的ITO導電玻璃；

用丙酮清洗所述刻蝕處理后的ITO導電玻璃遮光區域的光刻膠，得到模塊化底電極。

可選的，所述用顯影液去除后烘處理后的ITO導電玻璃曝光區域的光刻膠，具體包括：將所述后烘處理后的ITO導電玻璃置于顯影液中浸泡，并對顯影液浸泡后的ITO導電玻璃用去離子水沖洗，得到去除曝光部分光刻膠的ITO導電玻璃。

可選的，所述刻蝕曝光區域的ITO，具體包括：使用王水刻蝕曝光區域的ITO。